[发明专利]扫描探针显微镜以及使用扫描探针显微镜的物理性质测定方法

权利要求书

1.一种扫描探针显微镜，具备：

探针；

指示构件，其用于指示所述探针；

载置部，其用于载置试样；

驱动部，其使所述试样与所述探针之间的距离发生变化；

位移测定部，其测定所述指示构件的位移；

曲线制作部，其制作第一曲线和第二曲线，所述第一曲线表示所述试样接近所述探针时的所述探针与所述试样之间的距离同表示所述指示构件的位移的量的关系，所述第二曲线表示所述试样远离所述探针时的所述探针与所述试样之间的距离同表示所述指示构件的位移的量的关系；以及

物理性质计算部，其求出表示所述第一曲线与所述第二曲线之间的面积的量，来作为所述试样的物理性质。

2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其特征在于，

所述试样的物理性质是表示所述试样的硬度的量。

3.根据权利要求2所述的扫描探针显微镜，其特征在于，

所述曲线制作部将基于所述位移的所述指示构件所受到的力用作表示所述指示构件的位移的量。

4.根据权利要求2所述的扫描探针显微镜，其特征在于，

所述驱动部沿水平方向进行所述试样或所述探针的扫描，

所述位移测定部测定所述指示构件在所述水平方向上的各位置处的位移，

所述曲线制作部制作所述水平方向上的各位置处的所述第一曲线和所述第二曲线，

所述物理性质计算部求出所述水平方向上的各位置处的所述物理性质，

所述扫描探针显微镜还具备图像生成部，所述图像生成部生成将与所述水平方向上的各位置对应的所述物理性质作为像素值的图像。

5.根据权利要求4所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，

所述物理性质计算部求出表示在使所述第一曲线的斜率的大小为阈值以上的所述指示构件与所述试样之间的距离的范围内的、所述第一曲线与所述第二曲线之间的面积的量，来作为所述试样的物理性质。

6.根据权利要求4所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，

所述物理性质计算部求出表示在使所述第二曲线的斜率的大小为阈值以上的所述指示构件与所述试样之间的距离的范围内的、所述第一曲线与所述第二曲线之间的面积的量，来作为所述试样的物理性质。

7.根据权利要求4所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，

所述物理性质计算部求出表示在使所述第一曲线的斜率的大小为第一阈值以上且使所述第二曲线的斜率的大小为第二阈值以上的所述指示构件与所述试样之间的距离的范围内的、所述第一曲线与所述第二曲线之间的面积的量，来作为所述试样的物理性质。

8.根据权利要求4所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，

所述物理性质计算部求出表示在所述指示构件与所述试样之间的距离被指定的范围内的、所述第一曲线与所述第二曲线之间的面积的量，来作为所述试样的物理性质。

9.根据权利要求8所述的扫描探针显微镜，其特征在于，

所述物理性质计算部针对多个所述被指定的范围分别求出所述物理性质，

所述图像生成部生成所述被指定的范围不同的多个所述图像。

10.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其特征在于，

所述位移测定部在所述探针与所述试样之间的距离的多个点处测定位移，

所述物理性质计算部计算表示所述第一曲线上的所述多个点的各个点处的位移的量与表示所述第二曲线上的该点处的位移的量之间的差值，并求出所述差值的总和来作为所述试样的物理性质。