[发明专利]气体供给判定方法和等离子体发生装置

说明书

一种气体供给判定方法，是设有第一供给口和第二供给口的等离子体发生装置的气体供给判定方法，等离子体发生装置具备：第一供给装置，用于从第一供给口供给第一气体；及第二供给装置，与第一供给装置连接，用于从第二供给口供给第二气体，气体供给判定方法具备：第一供给工序，在停止由第二供给装置供给第二气体的状态下，开始由第一供给装置供给第一气体；第一计测工序，在第一供给工序之后，对供给到第一供给口的气体进行流量计测；及第一通知工序，根据第一计测工序的流量计测结果，通知第一供给口中的第一气体的供给状态。

技术领域

本公开涉及检查两种气体的供给状态的气体供给判定方法和等离子体发生装置。

背景技术

以往，在等离子体发生装置中，进行有检查两种气体的供给状态的工序。关于这样的供给气体的检查工序，例如，提出有下述专利文献1所记载的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2005/0173381号说明书

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在上述专利文献1所记载的技术中，除了由第一供给装置供给的第一气体的供给状态以外，难以对由与第一供给装置连接的第二供给装置供给的第二气体的供给状态进行检查。

为此，本公开就是鉴于上述的点而完成的，其课题在于，在等离子体发生装置中，除了进行由第一供给装置供给的第一气体的供给状态的检查以外，还能够进行由与第一供给装置连接的第二供给装置供给的第二气体的供给状态的检查。

用于解决课题的技术方案

本说明书公开了一种设有第一供给口和第二供给口的等离子体发生装置的气体供给判定方法，等离子体发生装置具备：第一供给装置，用于从第一供给口供给第一气体；及第二供给装置，与第一供给装置连接，用于从第二供给口供给第二气体，气体供给判定方法具备：第一供给工序，在停止由第二供给装置供给第二气体的状态下，开始由第一供给装置供给第一气体；第一计测工序，在第一供给工序之后，对供给到第一供给口的气体进行流量计测；及第一通知工序，根据第一计测工序的流量计测结果，通知第一供给口的第一气体的供给状态。

发明效果

根据本公开，在等离子体发生装置中，气体供给判定方法除了进行由第一供给装置供给的第一气体的供给状态的检查以外，还能够进行由与第一供给装置连接的第二供给装置供给的第二气体的供给状态的检查。

附图说明

图1是表示实施方式的等离子体处理机的整体结构的立体图。

图2是在卸下了罩的状态下表示图1的等离子体处理机所具有的等离子体头的立体图。

图3是图2的等离子体头的剖视图。

图4是用于说明与图1的等离子体处理机中的气体向等离子体头的供给相关的结构的示意图。

图5是表示气体供给判定方法的控制程序的流程图。

图6是表示触摸面板的显示内容的图。

图7是表示触摸面板的显示内容的图。

图8是表示触摸面板的显示内容的图。

图9是表示触摸面板的显示内容的图。

具体实施方式

以下，参照附图详细地说明本公开所涉及的等离子体发生装置的代表性的实施方式的等离子体处理机。此外，本公开除了下述实施方式以外，还能够通过基于本领域技术人员的知识而实施了各种变更、改良的各种方式来实施。

等离子体处理机的整体结构