[发明专利]一种用于光转向的镜组件

权利要求书

1.一种调节光束的装置，包括：

微机电系统(MEMS)，包括：

第一可旋转镜的阵列，被配置为接收和反射所述光束；以及

第一致动器的阵列，被配置为旋转所述第一可旋转镜的阵列中的每个可旋转镜；以及

非微机电系统(non-MEMS)，包括：

第二可调节镜，被配置为接收和反射所述光束；以及

第二致动器，被配置为调节所述第二可调节镜；并且

其中，由所述第一可旋转镜的阵列接收的所述光束是由所述第二可调节镜反射的，或者由所述第二可调节镜接收的所述光束是由所述第一可旋转镜的阵列反射的。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一可旋转镜的阵列以及所述第二可调节镜被配置为分别设置相对于第一维度的所述光束光路的第一角度，以及相对于第二维度的所述光束的所述光路的第二角度，所述第二维度与所述第一维度正交。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述装置进一步包括控制器，并且其中，所述控制器被配置为：

控制所述第一致动器的阵列和所述第二致动器输出包括在第一时间点沿所述光路方向的一个物体的第一光信号的第一光线；

控制所述第一致动器的阵列和所述第二致动器选择包括沿所述光路方向从所述物体传播的第二光信号的第二光线；

经由接收器在第二时间点接收所述第二光线；以及

基于所述第一时间点与所述第二时间点之间的差、所述第一角度以及所述第二角度，确定所述物体相对于所述装置的位置。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述非微机电系统是包括检流计镜、多面镜或闪光透镜中的至少一种的模拟系统。

5.根据权利要求4所述的装置，进一步包括第三镜，所述第三镜面向所述第一可旋转镜的阵列和所述第二可调节镜，并且被配置为将由所述第一可旋转镜的阵列反射的所述光束向所述第二可调节镜反射。

6.根据权利要求5所述的装置，进一步包括半导体基底，其中，所述第三镜与所述半导体基底的表面间隔第一距离；

其中，所述第一可旋转镜的阵列和所述第二可调节镜间隔第二距离；以及

其中，所述第一距离以及所述第二距离是基于由光源发出的所述光束相对于所述第一可旋转镜的入射角设定的。

7.根据权利要求6所述的装置，进一步包括准直透镜，其中，所述准直透镜位于所述光源以及所述第一可旋转镜之间，并且其中，所述准直透镜具有预定的孔径长度。

8.根据权利要求7所述的装置，其中，所述光源是激光二极管。

9.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一致动器的阵列中的每个致动器包括梳齿驱动器、压电设备或电磁设备中的至少一个。

10.根据权利要求1所述的装置，其中，所述控制器进一步被配置为：

以第一频率调节所述第一可旋转镜的阵列的每个可旋转镜的第一旋转角度，所述第一频率基本等于所述第一可旋转镜的阵列的固有频率；以及

以低于所述第一频率的第二频率调节所述第二可调节镜的第二旋转角度。

11.一种光检测和测距(LiDAR)系统，包括：

光源；

接收器；

微机电系统(MEMS)，包括：

第一可旋转镜的阵列，被配置为接收和反射所述光束；以及

第一致动器的阵列，被配置为旋转所述第一可旋转镜的阵列中的每个可旋转镜；以及

非微机电系统(non-MEMS)，包括：

第二可调节镜，被配置为接收和反射所述光束；以及

第二致动器，被配置为调节所述第二可调节镜；并且

其中，由所述第一可旋转镜的阵列接收的所述光束是由所述第二可调节镜反射的，或者由所述第二可调节镜接收的所述光束是由所述第一可旋转镜的阵列反射的。