[发明专利]图像形成方法以及图像形成系统

权利要求书

1.一种形成由层叠了多个层的样品中所含的对象层或多个层构成的图案的图像的方法，所述方法：

将所述样品表面的法线方向的轴作为旋转轴使所述样品旋转，并且经由设置于从所述样品分离的位置且具有使离子束选择性穿过的开口的掩模从相对于所述法线方向倾斜的方向朝向所述样品照射离子束，由此形成具有相对于样品表面倾斜的带状的倾斜面的孔，对该带状的倾斜面照射带电粒子束，检测基于该照射得到的带电粒子，基于该带电粒子的检测来生成包含所述倾斜面中所含的多个不同的带状的亮度区域的第1图像，使用该第1图像来确定所述对象层、包含由所述多个层构成的图案的亮度区域、或由所述多个层构成的图案。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，

在将所述掩模和所述样品的相对的位置关系固定了的状态下，使所述样品旋转。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，

所述掩模是板状体，在将该板状体的所述样品表面的对抗面和所述样品表面设为平行的状态下，使所述样品旋转。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，

在所述板状体设有多个开口。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，

所述样品是半导体晶片，所述板状体的多个开口被设为使得在所述半导体晶片中所含的多个芯片的对应的位置形成所述孔。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，

通过在预先登记的显示了条纹纹样的模板图像与所述第1图像之间执行模板匹配，来确定所述对象层、包含由所述多个层构成的图案在内的亮度区域、或由所述多个层构成的图案。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，

通过对所述第1图像中所含的多个不同的带状的亮度区域的数量进行计数，来确定所述对象层、包含由所述多个层构成的图案在内的亮度区域、或由所述多个层形成的图案。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，

使所述带电粒子束的照射位置在与所述多个不同的带状的亮度区域的带的长边方向交叉的方向上移动，并在各照射区域取得图像，基于对从在该各区域取得的图像得到的特征量满足给定的条件的亮度区域的束照射，来执行呈现于所述倾斜面上的图案的测定。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，

使所述带电粒子束的照射位置在与所述多个不同的带状的亮度区域的带的长边方向交叉的方向上移动，并在各照射区域取得图像，在该各照射区域得到的图像与预先登记的模板之间执行图案匹配，基于对匹配评分满足给定的条件的亮度区域的束照射，来执行呈现于所述倾斜面上的图案的测定。

10.一种图像形成系统，具备：

束照射子系统，构成为对晶片照射束，产生与来自晶片的信号相应的输出；和

计算机子系统，

所述计算机子系统接收基于对在样品上形成的带状的倾斜面照射带电粒子束而形成的第1图像，在该第1图像与预先登记的显示了多个不同的带状的亮度区域的模板图像之间执行模板匹配，控制所述束照射子系统，使得将所述束照射子系统的视野定位于与通过该模板匹配确定的位置处于已知的位置关系的带状的亮度区域。

11.根据权利要求10所述的图像形成系统，其中，

所述图像形成系统具备：

离子源，从相对于所述晶片表面的法线方向倾斜的方向照射离子束；

旋转台，在所述法线方向上具有旋转轴；和

离子束装置，安装于该旋转台，具有具有使所述离子束部分穿过的开口的掩模，

所述计算机子系统控制所述束照射子系统，使得所述束照射到由所述离子束装置形成的带状的倾斜面。