[发明专利]用于沉积蒸发的材料的沉积源、沉积装置及其方法

说明书

描述了一种用于沉积蒸发的材料的沉积源。所述沉积源(100)包括分配布置(110)，所述分配布置具有多个出口(111)以用于在主沉积方向(101)上提供蒸发的第一材料(A)和蒸发的第二材料(B)。另外，所述沉积源包括测量组件(120)，所述测量组件用于测量所述蒸发的第一材料(A)的第一沉积速率并用于测量所述蒸发的第二材料(B)的第二沉积速率。所述测量组件(120)具有处于与所述主沉积方向(101)交叉的方向上的主检测方向(102)。此外，所述沉积源(100)包括分离元件(130)，所述分离元件用于在与所述主检测方向(102)交叉的方向上分离所述蒸发的第一材料(A)和所述蒸发的第二材料(B)。所述分离元件(130)在所述主检测方向(102)上布置在所述多个出口(111)与所述测量组件(120)之间。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及用于沉积蒸发的材料的沉积源，特别地用于两种或更多种不同蒸发的材料的共沉积。特定而言，本公开内容的实施方式涉及沉积源，所述沉积源包括沉积速率测量设备，所述沉积速率测量设备用于测量两种或更多种不同蒸发的材料的单独沉积速率，所述两种或更多种不同蒸发的材料为例如用于显示器生产(例如有机发光二极管(OLED)或其他显示器器件)的无机或有机材料。本公开内容的其他实施方式涉及真空沉积装置，所述真空沉积装置具有沉积源，所述沉积源具有沉积速率测量设备；并且涉及用于测量两种或更多种不同蒸发的材料的单独沉积速率的方法。

背景技术

有机和金属蒸发器是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。OLED是一种特殊类型的发光二极管，其中发光层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用于制造电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持式装置等，以用于显示信息。OLED也可用于一般空间照明。OLED显示器可能的颜色、亮度和视角范围大于传统LCD显示器，因为OLED像素直接发光并且不包含背光。因此，OLED显示器的能耗远低于传统LCD显示器的能耗。此外，OLED可以制造到柔性基板上的事实导致了进一步的应用。

OLED的功能取决于有机材料的涂层厚度。该厚度必须在预定范围内。在OLED生产中，使用有机和电极材料的涂覆发生的沉积速率被控制在预定的容差范围内。换句话说，在生产过程中必须彻底控制有机或金属蒸发器的沉积速率。

因此，对于OLED应用以及还对于其他蒸发过程，需要相对较长时间内的高准确度沉积速率。有多种用于测量蒸发器的沉积速率的测量系统是可得的。然而，这些测量系统仍可在操作时段内的灵敏度、准确度和稳定性方面进行改进。

因此，持续需要提供具有改进的沉积速率测量系统的沉积源、沉积装置和用于测量沉积速率的方法。

发明内容

鉴于上述，提供了根据独立权利要求的一种用于沉积蒸发的材料的沉积源、一种用于将材料施加至基板的沉积装置、以及一种用于测量蒸发的第一材料的第一沉积速率和蒸发的第二材料的第二沉积速率的方法。根据从属权利要求、说明书和附图，其他方面、优点和特征是显而易见的。

提供了一种用于沉积蒸发的材料的沉积源。所述沉积源包括：分配布置，所述分配布置在一个或多个壁中具有两个或更多个出口以用于提供蒸发的第一材料和蒸发的第二材料；测量组件，所述测量组件用于测量所述蒸发的第一材料的第一沉积速率并用于测量所述蒸发的第二材料的第二沉积速率；以及分离元件，所述分离元件用于分离所述蒸发的第一材料和所述蒸发的第二材料，所述分离元件布置在介于一个或多个壁与所述测量组件之间的路径中。

根据本公开内容的一个方面，提供了一种用于沉积蒸发的材料的沉积源。所述沉积源包括分配布置，所述分配布置具有多个出口以用于在主沉积方向上提供蒸发的第一材料和蒸发的第二材料。另外，所述沉积源包括测量组件，所述测量组件用于测量所述蒸发的第一材料的第一沉积速率并且用于测量所述蒸发的第二材料的第二沉积速率。所述测量组件具有处于与所述主沉积方向交叉的方向上的主检测方向。此外，所述沉积源包括分离元件，所述分离元件用于在与所述主检测方向交叉的方向上分离所述蒸发的第一材料和所述蒸发的第二材料。所述分离元件在所述主检测方向上布置在所述多个出口与所述测量组件之间。