[发明专利]化学品过滤器更换装置及更换方法

说明书

本发明的目的在于提供一种化学品过滤器更换装置及更换方法，在化学品过滤器的更换中，防止化学物质泄漏到外部，将在更换化学品过滤器时可发生的事故危险最小化，实现装置体积的紧凑化，同时可减少更换化学品过滤器所需的工作工序数。用于实现该目的的本发明的化学品过滤器更换装置(1)，包括：过滤器组件安装部(300)，安装过滤器组件(2)，所述过滤器组件(2)包括待使用于过滤化学品的第一滤盒(10‑1)或者已使用于过滤化学品的第二滤盒(10‑2)、过滤器外壳(20)和过滤器头(30)，所述过滤器外壳(20)容纳所述第一滤盒(10‑1)或者第二滤盒(10‑2)并且所述过滤器外壳(20)和过滤器头(30)相互上下结合；及滤盒更换工具，在所述过滤器组件(2)安装在所述过滤器组件安装部(300)的状态下，从所述过滤器组件(2)分离所述过滤器外壳(20)，从所述过滤器组件(2)分离所述第二滤盒(10‑2)，之后所述第一滤盒(10‑1)结合于分离所述第二滤盒(10‑2)的过滤器组件(2)，如此将所述已分离的过滤器外壳(20)结合于所述过滤器组件(2)。

技术领域

本发明涉及化学品过滤器更换装置及更换方法，更详细地说，涉及可简便地更换用于过滤化学品所含的杂质的过滤器的化学品过滤器更换装置及更换方法。

背景技术

通常，制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学品，而且安全供应这种化学品的方式也正在变得多种多样。

这种化学品会经过化学品过滤器进行供应，以根据制造工艺的特性以杂质最少化的高纯度状态使用。

所述化学品过滤器根据种类其形状及更换方法也有所不同，而且根据化学品的种类及所需的高纯度状态保持标准有各种更换周期。

以往，工作人员为了将来自化学品的危害最小化穿戴了防化服及防毒面具等的安全防护工具，而且一直以来都是手工逐一更换。

然而，在工作人员手工更换化学品过滤器的情况下，在化学品过滤器更换工作时，可向外部泄漏化学品及烟雾(FUME)，因此不仅对制造设备包括在内的周边环境造成污染、损坏、破坏，而且工作人员包括在内的周围其他工作人员也可暴露在危险中。

另外，在工作人员阀门操作失误的情况下，可发生过滤器内部的各种有毒化学品泄漏到外部的事故。

另外，由于手工更换化学品过滤器，因此存在更换过滤器所需的工作工序数增加的问题。

作为在手工更换化学品过滤器的情况下用于固定化学品过滤器的装置，公开了韩国公开专利第10-2003-0043124号(2003.06.02.公开)。

发明内容

本发明是为了解决上述所有的问题而提出的，目的在于提供一种化学品过滤器更换装置及更换方法，在化学品过滤器的更换中，防止化学物质泄漏到外部，将在更换化学品过滤器时可发生的事故危险最小化，实现装置体积的紧凑化，同时可减少更换化学品过滤器所需的工作工序数。

用于实现如上所述的目的的本发明的化学品过滤器更换装置1包括：过滤器组件安装部300，安装过滤器组件2，所述过滤器组件2包括待使用于过滤化学品的第一滤盒10-1或者已使用于过滤化学品的第二滤盒10-2、过滤器外壳20和过滤器头30，所述过滤器外壳20容纳所述第一滤盒10-1或者第二滤盒10-2并且所述过滤器外壳20和过滤器头30相互上下结合；及滤盒更换工具，在所述过滤器组件2安装在所述过滤器组件安装部300的状态下，从所述过滤器组件2分离所述过滤器外壳20，从所述过滤器组件2分离所述第二滤盒10-2，之后所述第一滤盒10-1结合于分离所述第二滤盒10-2的过滤器组件2，如此将所述已分离的过滤器外壳20结合于所述过滤器组件2。

所述化学品过滤器更换装置1还可以包括：第一装载部210，装载待结合于所述过滤器组件2的第一滤盒10-1；第二装载部220，装载从所述过滤器组件2分离的第二滤盒10-2。