[发明专利]镀覆装置及镀覆方法

权利要求书

1.一种镀覆装置，其特征在于，在卷出侧辊与卷取侧辊之间，通过受轴承支撑的阴极辊而维持搬送作为被镀覆材料的长条状薄片，且同时一边使所述长条状薄片以浸入镀覆液中的状态于设有阳极的镀覆槽中搬送，一边由所述阴极辊对所述长条状薄片进行供电，借此对该长条状薄片进行电镀处理，

设有2个以上的所述镀覆槽，各镀覆槽分别设有与所述阴极辊的回流导线及所述阳极相连的电源。

2.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，所述阴极辊相对于所述镀覆槽位于所述长条状薄片搬送方向的上游侧，且与所述镀覆槽的上游侧入口的距离设为150mm以下的范围。

3.根据权利要求1或2所述的镀覆装置，其特征在于，所述阴极辊具有弹性。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的镀覆装置，其特征在于，所述阴极辊在其两端部的预定范围中对所述长条状薄片进行供电。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的镀覆装置，其特征在于，设有按压机构，所述按压机构是通过将所述长条状薄片对所述阴极辊进行按压，而使该长条状薄片与该阴极辊的接触面积增大。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的镀覆装置，其特征在于，所述阴极辊在不赋予旋转驱动力下通过与所述长条状薄片的摩擦阻力，而随着该长条状薄片的搬送进行旋转。

7.一种镀覆方法，其特征在于，使用根据权利要求1至6中任一项所述的镀覆装置，对已形成薄膜电阻值在1Ω/sq以上的种子层的长条状薄片进行镀覆处理。

8.一种镀覆方法，其特征在于，使用根据权利要求1至6中任一项所述的镀覆装置，对已形成200nm以下的镍或镍合金皮膜的长条状薄片进行镀覆处理。