[发明专利]抛光垫及其制造方法

权利要求书

1.一种抛光垫，其特征在于，

在抛光垫中具有：

多个垫片，它们分别具有将所述抛光垫分割为多个区域而成的面状，通过对这些垫片进行组合，由此作为整体而构成研磨层；以及

多个接合部，它们沿所述多个垫片的接合边界而设置，并将相邻的垫片的端面彼此一体不可分地接合。

2.根据权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，所述多个垫片具有整体被平坦化的研磨面。

3.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于，所述抛光垫还具有多个槽部，这些槽部设置为在所述研磨层的表面凹陷成条纹状，且它们的至少一部分与所述接合边界在位置上对应。

4.根据权利要求3所述的抛光垫，其特征在于，

所述多个槽部具有多个第一槽部，这些第一槽部分别沿纵和横中的一方的方向延伸，并且在与所述一方的方向正交的另一方的方向以第一间距排列，

分别沿所述一方的方向延伸、并且在所述另一方的方向相邻的所述接合边界的间隔是所述第一间距的m倍(m为整数)。

5.根据权利要求4所述的抛光垫，其特征在于，

所述多个槽部具有多个第二槽部，这些第二槽部分别沿所述另一方的方向延伸，并且在所述一方的方向以第二间距排列，

分别沿所述另一方的方向延伸、并且在所述一方的方向相邻的所述接合边界的间隔是所述第二间距的n倍(n为整数)。

6.一种抛光垫的制造方法，其特征在于，

在抛光垫的制造方法中具有：

第一步骤，在该第一步骤中，通过在多个垫片的端面涂布粘接剂，在此基础上将相邻的垫片的端面彼此沿接合边界而一体不可分地接合，由此生成作为所述多个垫片的组合、并且作为整体而构成研磨层的接合体；以及

第二步骤，在该第二步骤中，通过对所述接合体的表面进行研磨，而形成平坦化的研磨面。

7.根据权利要求6所述的抛光垫的制造方法，其特征在于，所述抛光垫的制造方法还具有第三步骤，在该第三步骤中，将所述接合体成形为规定的形状。

8.根据权利要求6或7所述的抛光垫的制造方法，其特征在于，所述抛光垫的制造方法还具有第四步骤，在该第四步骤中，形成多个槽部，这些槽部设置为在所述接合体的表面凹陷成条纹状，且它们的至少一部分与所述接合边界在位置上对应。

9.根据权利要求8所述的抛光垫的制造方法，其特征在于，

所述第四步骤具有形成多个第一槽部的步骤，这些第一槽部分别沿纵和横中的一方的方向延伸，并且在与所述一方的方向正交的另一方的方向以第一间距排列，

所述第一间距是分别沿所述一方的方向延伸、并且在所述另一方的方向相邻的所述接合边界的间隔的1/m倍(m为整数)。

10.根据权利要求9所述的抛光垫的制造方法，其特征在于，

所述第四步骤具有形成多个第二槽部的步骤，这些第二槽部分别沿所述另一方的方向延伸，并且在所述一方的方向以第二间距排列，

所述第二间距是分别沿所述另一方的方向延伸、并且在所述一方的方向相邻的所述接合边界的间隔的1/n倍(n为整数)。