[其他]ESD保护元件

权利要求书

1.一种ESD保护元件，其特征在于，具备：

基板，其具有半导体区域，在所述半导体区域形成有浪涌吸收元件；

布线层，其形成在所述基板上；

螺旋形状的电感器导体，其形成于所述布线层，并具有外周端与内周端；以及

第1外部连接端子、第2外部连接端子、以及第3外部连接端子，它们形成在所述布线层上，

所述电感器导体具有包含所述外周端的配置于外周侧的第1电感器导体、包含所述内周端的配置于内周侧的第2电感器导体、以及将第1电感器导体与第2电感器导体连接的连接导体部，

所述电感器导体的所述外周端连接于所述第1外部连接端子，

所述电感器导体的所述内周端连接于所述第2外部连接端子，

所述电感器导体的所述连接导体部经由所述浪涌吸收元件，连接于所述第3外部连接端子，

所述第2电感器导体的宽度小于所述第1电感器导体的宽度。

2.根据权利要求1所述的ESD保护元件，其特征在于，

所述基板具有形成有第1端子导体和第2端子导体的端子形成面，并且，所述浪涌吸收元件具有第1端和第2端，

所述第1端子导体连接于所述浪涌吸收元件的所述第1端，

所述第2端子导体连接于所述浪涌吸收元件的所述第2端。

3.根据权利要求2所述的ESD保护元件，其特征在于，具备：

第1层间连接导体，其将所述电感器导体的所述外周端与所述第1外部连接端子连接；

第2层间连接导体，其将所述电感器导体的所述内周端与所述第2外部连接端子连接；

第3层间连接导体，其将所述连接导体部与所述第1端子导体连接；以及

第4层间连接导体，其将所述第2端子导体与所述第3外部连接端子连接。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的ESD保护元件，其特征在于，

所述浪涌吸收元件包含齐纳二极管。

5.根据权利要求1所述的ESD保护元件，其特征在于，

所述连接导体部的宽度大于所述第1电感器导体的宽度。

6.根据权利要求1所述的ESD保护元件，其特征在于，

所述螺旋形状呈具有角部的形状，

所述连接导体部配置于所述角部。

7.根据权利要求1所述的ESD保护元件，其特征在于，

所述螺旋形状呈具有屈曲部或者弯曲部的形状，

所述连接导体部配置于所述屈曲部或者所述弯曲部。

8.根据权利要求1所述的ESD保护元件，其特征在于，

在所述电感器导体与所述基板之间配置有多个绝缘层。