[其他]致动器驱动装置

说明书

本实用新型提供了致动器驱动装置。致动器驱动装置(111)具备根据施加电压进行位移或者变形的致动器(11)、和控制对致动器(11)的施加电压的致动器控制电路(110)。致动器控制电路(110)构成为包括：与致动器(11)连接并根据控制电压决定静电电容的可变电容部(21C)、对可变电容部(21C)施加控制电压的可变电容元件控制电路(30)、以及对包括致动器(11)以及可变电容部(21C)的电路施加电压的电源电路(40)。

技术领域

本实用新型涉及控制对根据施加电压进行位移或者变形的致动器施加的电压的致动器驱动装置。

背景技术

在专利文献1示出了在等效电容型的致动器中串联连接可变电容元件，且具备对致动器以及可变电容元件的两端施加电压的恒压源，通过改变可变电容元件的静电电容来调整对致动器的施加电压。

专利文献1：国际公开第2006/082807号

在专利文献1所记载的致动器驱动装置中，与等效电容型致动器串联连接的可变电容器通过机械地改变电极间距离等来使静电电容变化，或者在可变电容元件并联连接固定电容器，并通过经由开关断续地切换该固定电容器的并联连接来使合成电容等效地变化。

但是，在使静电电容机械地变化的上述构成中，响应性较差，不能够高速地驱动致动器。另外，在通过经由开关断续地切换来使合成电容等效地变化的构成中，需要以比致动器的频率响应性的上限更高的频率接通断开开关，所以控制开关的电路要求高速的响应性，电路构成也变得复杂且高价。

实用新型的内容

因此，本实用新型的目的在于提供构成为通过控制电压电性地决定电容，从而能够高速地规定致动器的位移量或者变形量的致动器驱动装置。

(1)本实用新型的致动器驱动装置具备致动器以及致动器控制电路，该致动器根据施加电压而进行位移或变形，该致动器控制电路控制针对所述致动器的施加电压。

而且，该致动器控制电路的特征在于其构成包括：可变电容元件、可变电容元件控制电路以及电源电路，该可变电容元件与致动器连接，并根据控制电压决定静电电容，该可变电容元件控制电路对可变电容元件施加控制电压，该电源电路对包括致动器以及可变电容元件的电路施加电压。

根据上述构成，能够高速地规定可变电容元件的电容，所以能够高速驱动致动器。

(2)上述可变电容元件例如具备至少两个电容器电极、以及形成在两个电容器电极间的铁电体膜，该可变电容元件是根据施加在两个电容器电极间的控制电压值而决定静电电容的铁电体电容器。根据该构成，能够规定为无极性且较高的电容值，能够在较宽的范围控制致动器的位移量或者变形量。

(3)上述可变电容元件控制电路的构成例如包括：基于具有不同的电阻值的多个电阻元件的电阻分压电路和分压比设定电路，该分压比设定电路设定该电阻分压电路的分压比。由此，能够仅通过设定电阻分压电路的分压比来规定可变电容元件的电容，能够以简单的电路构成施加给可变电容元件的控制电压。

(4)上述致动器例如是根据逆压电效应进行位移或变形的压电致动器。根据该构成，能够以相对较低的电压，得到较大的位移量或者较大的变形量。

(5)上述致动器例如是利用与施加电压对应的静电力进行位移或变形的静电致动器。根据该构成，容易在微小空间内进行位移或者变形。

(6)上述致动器控制电路还具备热敏电阻，该热敏电阻与可变电容元件连接。根据该构成，能够利用热敏电阻的温度对电阻值的特性补偿可变电容元件的温度对静电电容的特性，能够在较宽的温度环境下，得到致动器的稳定的位移用或者变形量。另外，在致动器有温度依赖性的情况下，能够利用热敏电阻的温度对电阻值的特性补偿相对于对致动器的施加电压的位移量或者变形量的特性，能够在较宽的温度环境下，得到致动器的稳定的位移量或者变形量。