[发明专利]一种新型可控有机晶体生长设备及其制备有机单晶的方法在审
申请号: | 201910002575.X | 申请日: | 2019-01-02 |
公开(公告)号: | CN109610003A | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 胡文平;汪涛;任晓辰;耿博文;赵生盛 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | C30B29/54 | 分类号: | C30B29/54;C30B7/06 |
代理公司: | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人: | 王海滨 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电动平移台 刮刀 半导体电制冷 散热底座 有机单晶 刮臂 升降台 生长设备 有机晶体 导热片 俯仰台 基座板 可控 制备 动作平台 固定设置 控制溶剂 企业研发 实验设备 有机溶液 刮涂 基底 控温 蒸发 生长 科研 | ||
1.一种新型可控有机晶体生长设备,其特征在于:包括基座板、电动平移台、升降台、俯仰台、刮臂、刮刀、散热底座、半导体电制冷片、导热片;
所述电动平移台固定安装在基座板上,散热底座固定设置在电动平移台的动作平台上,所述半导体电制冷片固定于散热底座的上表面,所述导热片设置于半导体电制冷片上;
所述升降台位于电动平移台的一侧并固定在基座板上,俯仰台安装在升降台上,所述刮臂的一端固定安装在俯仰台的动作台上,刮臂的另一端安装刮刀,通过升降台调节刮刀的高度,通过俯仰台调节刮刀俯仰角度。
2.根据权利要求1所述的一种新型可控有机晶体生长设备,其特征在于:所述导热片采用一铜片。
3.根据权利要求1所述的一种新型可控有机晶体生长设备,其特征在于:铜片上设置有用于安装热电阻探头的安装孔,将热电阻探头嵌入在该安装孔中,用于采集导热片的实时温度数据。
4.根据权利要求1所述的一种新型可控有机晶体生长设备,其特征在于:半导体电制冷片外接直流电源,根据导热片上的热电阻探头反馈的实时温度数据,通过对半导体电制冷片输入电流的控制,可实现对导热片的高精度温度控制。
5.根据权利要求1所述的一种新型可控有机晶体生长设备,其特征在于:所述刮刀为立方体形状,立方体的一个顶边作为刀刃。
6.根据权利要求1所述的一种新型可控有机晶体生长设备,其特征在于:所述的为半导体电制冷片供电的直流电源采用可编程直流电源,其与PC连接,该可编程直流电源选用Henghui PLD-3605M型号;PC通过数据采集器与热电阻探头连接,PC通过labview编程,采用PID算法,实现对导热片的高精度温度控制。
7.根据权利要求1所述的一种新型可控有机晶体生长设备,其特征在于:所述电动平移台的型号为Thorlabs的直驱线性平移台DDSM100,其提供精度为0.5um的100mm行程,该电动平移台的伺服驱动电机连接PC,通过Kinesis软件控制电动平移台的各项参数。
8.根据权利要求1所述的一种新型可控有机晶体生长设备,其特征在于:所述升降台的型号为GCM-162。
9.根据权利要求1所述的新型可控有机晶体生长设备制备有机单晶的方法,其特征在于:将洗净的硅片放置于导热片上,调节升降台和俯仰台,使刮刀的刀刃距离硅片一定距离并且保持与硅片平行,在电动平移台的旁边设置有显微镜,调节过程中,利用显微镜观察刀刃和硅片的距离;然后设置导热片温度,待温度稳定后,通过移液枪向硅片上滴入有机晶体生长原液,设置电动平移台移速,并启动电动平移台,等待刮刀完全移过硅片,在硅片上获得了整块有机单晶。
10.根据权利要求9所述的新型可控有机晶体生长设备制备有机单晶的方法,其特征在于:刮刀的刀刃距离硅片40-80um;设置电动平移台移速为0.2-0.6mm/s。
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