[发明专利]减振系统以及具备该减振系统的光学装置

权利要求书

1.一种减振系统，对搭载在基体上的被减振体的振动进行减振，具备：

促动器单元，分别具有能够伸缩的压电元件，为了将上述被减振体的侧面与上述基体之间进行连结，而从上述被减振体的侧面的至少3个周向上不同的位置，向至少3个不同方向延伸到上述基体；

驱动电源，为了使上述压电元件伸缩，对上述促动器单元的上述压电元件供给驱动电压；

振动检测部，对包含上述振动的量和方向的上述被减振体的振动的状态进行检测；以及

控制器，以上述促动器单元分别在上述被减振体向远离上述促动器单元的方向运动了时收缩、在上述被减振体向朝向上述促动器单元的方向运动了时伸长的方式，基于由上述振动检测部检测到的上述振动的状态，控制上述驱动电源向上述压电元件供给的电压，由此控制上述被减振体的振动的减振。

2.如权利要求1所述的减振系统，其中，

上述促动器单元分别还具备：

能够变形的平板状的基材；以及

为了形成上述压电元件而搭载在上述基材上的压电体。

3.如权利要求2所述的减振系统，其中，

上述促动器单元分别还具备固定部件，该固定部件构成为：与上述压电元件成列地配置，并将上述压电元件固定于上述被减振体的侧面以及上述基体。

4.如权利要求1所述的减振系统，其中，

上述促动器单元为，在配置于上述被减振体的侧面与上述基体之间时，从上述被减振体的侧面朝向上述基体倾斜地延伸。

5.如权利要求1所述的减振系统，其中，

上述促动器单元分别具备以并联或者串联的方式具有多个压电体的上述压电元件。

6.如权利要求1所述的减振系统，其中，

上述促动器单元分别具备以并联或者串联的方式配置的多个压电元件。

7.如权利要求1所述的减振系统，其中，

上述振动检测部设置于上述被减振体的振动具有最大振幅的位置。

8.一种光学装置，具备：

框体，收容能够移动的工作台；

镜筒，配置于上述框体上；以及

减振系统，对由于上述工作台的移动而产生了的上述镜筒的振动进行减振，

上述减振系统具备：

促动器单元，分别具有能够收缩的压电元件，为了将上述镜筒的侧面与上述框体之间进行连结，而从上述镜筒的侧面的至少3个周向上不同的位置，向至少3个不同方向延伸到上述框体；

驱动电源，为了使上述压电元件伸缩，而对上述促动器单元的上述压电元件供给驱动电压；

振动检测部，对包含上述振动的量和方向的被减振体的振动的状态进行检测；以及

振动控制器，以上述促动器单元分别在上述镜筒向远离上述促动器单元的方向运动了时收缩、在上述镜筒向朝向上述促动器单元的方向运动了时伸长的方式，基于由上述振动检测部检测到的上述振动的状态，控制上述驱动电源向上述压电元件供给的电压，由此控制上述镜筒的振动的减振。

9.如权利要求8所述的光学装置，其中，

上述促动器单元分别还具备：

能够变形的平板状的基材；以及

为了形成上述压电元件而搭载在上述基材上的压电体。

10.如权利要求9所述的光学装置，其中，

上述促动器单元分别还具备固定部件，该固定部件构成为：与上述压电元件成列地配置，并将上述压电元件固定于上述镜筒的侧面以及上述框体。

11.如权利要求8所述的光学装置，其中，

上述振动检测部具有对上述镜筒的上述振动的状态进行检测的加速度检测器。

12.如权利要求8所述的光学装置，其中，

上述振动检测部具有对上述镜筒的振动的状态进行检测的应变检测器。