[发明专利]线网摆动系统和多线切割设备在审
申请号: | 201910008343.5 | 申请日: | 2019-01-04 |
公开(公告)号: | CN109624116A | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 郝禄;吴学宾 | 申请(专利权)人: | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 赵丽娜 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 线网摆动 从动同步带轮 主动同步带轮 传动连接 摆动轮 减速机 多线切割设备 摆动电机 切割座 线网 点接触式 多线切割 切割效率 易维护 坯料 切割 加工 | ||
本发明提供一种线网摆动系统和多线切割设备,属于多线切割技术领域,线网摆动系统包括切割座、设置在所述切割座上的摆动轮、设置在所述摆动轮上的线网装置,还包括摆动电机、减速机、主动同步带轮和从动同步带轮,摆动电机和减速机连接,减速机和主动同步带轮传动连接,主动同步带轮和从动同步带轮传动连接,从动同步带轮和摆动轮传动连接。本发明提供的线网摆动系统,能够实现线网与待加工坯料之间点接触式的切割,结构简单易维护、稳定、精度高,使得切割效率高。
技术领域
本发明涉及多线切割技术领域,具体而言,涉及一种线网摆动系统和多线切割设备。
背景技术
目前,多线切割技术是世界上比较先进的晶锭加工技术,其原理是通过收放线系统使金刚线运动,高速运动的金刚线绕在罗拉上组成线网。线网对待切割的硬脆材料进行摩擦,从而达到切割效果。
传统的多线切割在进行晶锭加工过程中,线网与工件的切口是线接触,对于有些超硬材料较难切割,会加剧线网的磨损,甚至断线导致切割失败。
发明内容
本发明的目的在于提供一种线网摆动系统和多线切割设备,能够实现线网与待加工坯料之间点接触式的切割,降低线网的磨损,提高切割效率。
本发明的实施例是这样实现的:
一种线网摆动系统,其包括切割座、设置在所述切割座上的摆动轮、设置在所述摆动轮上的线网装置,还包括摆动电机、减速机、主动同步带轮和从动同步带轮,摆动电机和减速机连接,减速机和主动同步带轮传动连接,主动同步带轮和从动同步带轮由同步带传动连接,从动同步带轮和摆动轮连接。
可选地,切割座上还设置交叉滚子轴承,交叉滚子轴承的外圈通过轴承盖固定在切割座上,交叉滚子轴承的内圈设置有摆动轮,从动同步带轮固定在交叉滚子轴承的内圈端面。
可选地,线网装置包括主轴电机、与主轴电机传动连接的第一主动轴和第二主动轴,还包括第一罗拉、第二罗拉、第一从动轴和第二从动轴,第一罗拉的两端和第二罗拉的两端分别设置轴承,第一罗拉通过轴承分别与第一主动轴和第一从动轴连接,第二罗拉通过轴承分别与第二主动轴和第二从动轴连接,第一罗拉和第二罗拉之间用于设置线网。
可选地,切割座上还设置支撑板,从动同步带轮的轴心内设置芯轴,芯轴外周套设有芯轴套,芯轴和芯轴套之间设置调心滚子轴承,芯轴套和支撑板固定连接。
可选地,切割座上设置有切割座轴肩,切割座轴肩和轴承盖相对设置在交叉滚子轴承的两侧,用于固定交叉滚子轴承的外圈。
可选地,摆动轮上设置有摆动轮轴肩,摆动轮轴肩和从动同步带轮相对设置在交叉滚子轴承的两侧,用于固定交叉滚子轴承的内圈。
可选地,交叉滚子轴承外圈与切割座之间设置气道,用于通过气管向气道输送压缩空气。
可选地,减速机设置在安装座上,安装座固定在切割座上,安装座上有长条孔,螺钉穿过长条孔和减速机连接。
一种多线切割设备,包括收放线系统、张力控制系统、送料系统、冷却系统和切割液供给系统和上述的线网摆动系统,收放线系统包括线网、第一端和第二端,线网通过第一端和第二端进行收线和放线,在第一罗拉和第二罗拉之间绕有多圈形成的多根平行的线网,张力控制系统用于控制线网的张力,送料系统与切割座连接,待切割的坯料通过送料系统送入多线切割设备,切割液供给系统提供多线切割时的切割液,冷却系统用于整机冷却。
可选地,线网为金刚线网。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所),未经北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910008343.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种硅片切割机控制系统及方法
- 下一篇:一种水钻夹具及其制造方法