[发明专利]一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶及其制备方法

权利要求书

1.一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶，其特征在于，由如下质量份数的原料组成：

成膜树脂14.2～23.7份

交联剂4.2～7.5份

光引发剂0.8～1.4份

助剂0.06～0.13份

溶剂67.3～80.7份

其中，所述成膜树脂是由丙烯酸衍生物单体通过溶液自由基聚合方法制成，具体如下结构通式：m，n，o，p，q指聚合度；

其中，所述交联剂为官能度为2以上的丙烯酸衍生物单体，两种以上混合使用，具体结构如下：

其中，所述光引发剂为六芳基二咪唑、二苯甲酮和安息香双甲醚的一种或两种混合使用；

其中，所述助剂为氟改性流平剂KMT-1020和硅聚醚改性流平剂ZY-8533中的一种；

其中，所述溶剂为丁酮、异丙醇和乙二醇单甲醚中的一种。

2.如权利要求1所述的一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶中，成膜树脂是由单体通过溶液自由基聚合方法制成，其特征在于，引入了N-(3-(3-甲氧基硅)-丙基)-丙烯酰胺和N-(3-(3-乙氧基硅)-丙基)-丙烯酰胺为有机硅改性剂。

3.如权利要求2所述的一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶中，成膜树脂按照如下方法制备：(a)在配有机械搅拌和冷凝回流管的反应釜中，加入溶剂，溶剂为丁酮、异丙醇或乙二醇单甲醚中的一种，再加入甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸苯酯的混合单体，加热至87℃，加入引发剂，反应40分钟；(b)补加溶剂，溶剂为丁酮、异丙醇或乙二醇单甲醚中的一种，补加甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸苯酯的混合单体、引发剂，反应3小时；(c)补加溶剂，溶剂为丁酮、异丙醇或乙二醇单甲醚中的一种，补加N-(3-(3-甲氧基硅)-丙基)-丙烯酰胺和N-(3-(3-乙氧基硅)-丙基)-丙烯酰胺的混合单体、引发剂，继续反应8小时；(d)停止反应并后处理得到成膜树脂。