[发明专利]粘膜机及粘膜方法在审

专利信息
申请号: 201910010113.2 申请日: 2019-01-04
公开(公告)号: CN109742040A 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 李双龙;边绍成;王志达;程国庆;杨虎 申请(专利权)人: 吉林华微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 崔振
地址: 132013 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 切割组件 压板组件 粘膜 成品输送 膜组件 支撑架 入料口 支撑体 控制器 膜料 半导体器件生产 装置技术领域 间隔设置 相对设置 张紧 背离 容纳
【权利要求书】:

1.一种粘膜机,其特征在于,包括:机架(100)、输膜组件(200)、支撑架成品输送组件(300)、压板组件(400)、切割组件(500)和控制器(800);

所述压板组件(400)与所述切割组件(500)相对设置,所述输膜组件(200)、所述支撑架成品输送组件(300)、所述压板组件(400)和所述切割组件(500)均与所述机架(100)连接;

所述机架(100)上设有入料口,所述入料口用于容纳支撑体,且与所述压板组件(400)在水平方向上间隔设置;

所述输膜组件(200)用于将膜料张紧并输送至所述压板组件(400)和所述切割组件(500)之间;

所述支撑架成品输送组件(300)用于将支撑体自所述入料口输送至所述压板组件(400)和所述切割组件(500)之间,并使支撑体位于膜料背离切割组件(500)的一侧;

所述控制器(800)分别与所述输膜组件(200)、所述支撑架成品输送组件(300)、所述压板组件(400)和所述切割组件(500)相连接。

2.根据权利要求1所述的粘膜机,其特征在于,所述机架(100)上连接有衬套(101)和第一传感器(102),所述衬套(101)与所述入料口连通,所述第一传感器(102)与所述控制器(800)连接,用于检测所述衬套(101)内支撑体的有无。

3.根据权利要求1所述的粘膜机,其特征在于,所述压板组件(400)包括:压板本体(401)和回位挡块(402),所述压板本体(401)靠近所述入料口的一端设有通槽,所述回位挡块(402)插接于所述通槽,并通过铰接轴与所述压板本体(401)铰接;

所述铰接轴的轴线位于所述回位挡块(402)的重心和所述入料口之间;

所述回位挡块(402)朝向所述切割组件(500)的一侧端面,自靠近所述入料口的一端向远离所述入料口的一端,朝靠近所述切割组件(500)的方向倾斜。

4.根据权利要求1所述的粘膜机,其特征在于,所述粘膜机包括第二传感器(206),所述第二传感器(206)用于检测所述输膜组件(200)上膜料是否足量。

5.根据权利要求1所述的粘膜机,其特征在于,所述支撑架成品输送组件(300)包括:第一导向轴(301)、第二导向轴(302)、撑架板(303)和第一伸缩缸(304),所述第一导向轴(301)和所述第二导向轴(302)均与所述机架(100)连接,且分别位于所述撑架板(303)的两侧,所述撑架板(303)滑动连接于所述第一导向轴(301)和所述第二导向轴(302);

所述第一伸缩缸(304)与所述控制器(800)相连接,所述第一伸缩缸(304)的固定端与所述机架(100)连接,所述第一伸缩缸(304)的活动端与所述撑架板(303)连接,所述第一导向轴(301)的轴线和所述第二导向轴(302)的轴线均与所述第一伸缩缸(304)的轴线平行。

6.根据权利要求5所述的粘膜机,其特征在于,所述撑架板(303)的上端面连接输料挡块(305),所述输料挡块(305)位于所述撑架板(303)远离所述切割组件(500)的一端,且所述输料挡块(305)朝向所述入料口的一侧端面,自远离所述切割组件(500)的一端向远离所述入料口的一端,朝背离所述撑架板(303)的方向倾斜。

7.根据权利要求5所述的粘膜机,其特征在于,所述粘膜机包括第三传感器(306),所述第三传感器(306)与所述控制器(800)相连接,用于检测所述撑架板(303)的位置。

8.根据权利要求1所述的粘膜机,其特征在于,所述粘膜机包括:成品输送组件(600)和存储箱(700),所述成品输送组件(600)位于所述支撑架成品输送组件(300)和所述存储箱(700)之间;

所述成品输送组件(600)与所述控制器(800)相连接,用于将粘膜成品输送至所述存储箱(700)内。

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