[发明专利]屏幕活化设备

权利要求书

1.一种屏幕活化设备，包括活化装置，所述活化装置包括：

基座;

承载机构，其设于所述基座上，所述承载机构用于承载待活化目标;

离子激发机构，其设于所述基座上，所述离子激发机构包括离子激发体；其中

所述承载机构与所述离子激发体之间的水平距离能够调整；

所述承载机构与所述离子激发体之间的垂直距离能够调整；

所述承载机构包括承载体、驱动所述承载体转动的转动机构和真空吸附头，所述转动机构与所述承载体传动连接，所述真空吸附头设于所述承载体上；

所述承载机构还包括承载基座，所述承载基座与所述基座滑动连接，所述承载基座能够相对于基座在第一水平方向上滑动，所述转动机构设于所述承载基座上；

所述承载基座包括：

第一承载基座；

所述转动机构包括：

第一转动机构，设于所述第一承载基座上；

所述承载体包括：

第一承载体，与所述第一转动机构传动连接，所述第一转动机构配置成驱动所述第一承载体翻面，以使得所述离子激发机构可对设置于所述第一承载体上的待活化目标进行双面活化；

所述转动机构还包括：

第二转动机构，设于所述第一承载基座上；

所述承载体还包括：

第二承载体，与所述第二转动机构传动连接，所述第二转动机构配置成驱动所述第二承载体翻面，以使得所述离子激发机构可对设置于所述第二承载体上的待活化目标进行双面活化。

2.根据权利要求1所述的屏幕活化设备，其特征在于，

所述承载机构还包括：

第二承载基座；

第三转动机构，设于所述第二承载基座上；

第三承载体，与所述第三转动机构传动连接；

第四转动机构，设于所述第二承载基座上；

第四承载体，与所述第四转动机构传动连接。

3.根据权利要求1-2任一项所述的屏幕活化设备，其特征在于，所述离子激发机构还包括离子激发架，所述离子激发架包括与所述基座连接的第一支架和与所述第一支架连接的第二支架，所述第二支架能够沿所述第一支架在第二水平方向上移动，所述离子激发体设于所述第二支架上，所述离子激发体能够沿所述第二支架在垂直方向上移动。

4.根据权利要求3所述的屏幕活化设备，其特征在于，所述离子激发体包括第一离子激发体和第二离子激发体；

所述第二支架上连接有滑座，所述滑座能够沿所述第二支架在垂直方向上移动；

所述滑座上连接有第一垂直调节块和第二垂直调节块，所述第一垂直调节块和所述第二垂直调节块能够沿所述滑座在垂直方向上移动；

所述第一垂直调节块上设有第一水平调节块，所述第一水平调节块能够沿所述第一垂直调节块在水平方向上移动，所述第一离子激发体设于所述第一水平调节块上；

所述第二垂直调节块上设有第二水平调节块，所述第二水平调节块能够沿所述第二垂直调节块在水平方向上移动，所述第二离子激发体设于所述第二水平调节块上。

5.根据权利要求1所述的屏幕活化设备，其特征在于，所述转动机构包括气缸，所述气缸的输出轴具有轴向通孔，与所述真空吸附头连接的真空管穿过所述轴向通孔。

6.根据权利要求1所述的屏幕活化设备，其特征在于，所述转动机构包括齿轮齿条摆动气缸，所述齿轮齿条摆动气缸的壳体上设有齿条行程调节杆，所述齿条行程调节杆的一端伸入所述壳体内，所述齿条行程调节杆的一端伸入所述壳体内的长度能够调整，所述齿条行程调节杆伸入所述壳体的一端用于限定所述齿条的行程。

7.根据权利要求1所述的屏幕活化设备，其特征在于，还包括用于检测所述真空吸附头的真空度的吸附检测装置。

8.根据权利要求1所述的屏幕活化设备，其特征在于，还包括罩体，所述活化装置设于所述罩体内，所述罩体上具有排气口。