[发明专利]激光腔镜辅助装调装置及其使用方法有效
申请号: | 201910011929.7 | 申请日: | 2019-01-07 |
公开(公告)号: | CN109633921B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 王建磊;余婷;刘晶;叶锡生;邓宇欣 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B27/62 | 分类号: | G02B27/62 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 辅助 装置 及其 使用方法 | ||
1.一种激光腔镜辅助装调装置的使用方法,该激光腔镜辅助装调装置,包括:三维升降平台(1)、二维调整架(2)、引导支撑架(3)、镜架机械臂(4)、基准光源(5)、坐标观察屏(6)、光场相机(7);所述的二维调整架(2)固定在所述的三维升降平台(1)上,并通过所述的引导支撑架(3)与所述的镜架机械臂(4)连接,工作时:所述的镜架机械臂(4)加持待装调激光腔镜并将其放置于待装调光路位置;所述的基准光源(5)发射基准光照射到待装调激光腔镜,经该待装调激光腔镜反射后,入射到所述的坐标观察屏(6)上,经该坐标观察屏(6)漫反射后被所述的光场相机(7)接收;其特征在于该方法包括下列步骤:
①将所述的激光腔镜辅助装调装置,以下简称为辅助装置,放置于激光腔镜待安装光学平台附近,所述的镜架机械臂(4)牢固加持待安装激光腔镜;所述的基准光源(5)放置在待装调激光器光路的正后方;
②以待装调激光器设计光轴为基准,调整基准光源(5)方位及俯仰角,使得基准光与待装调激光器设计光轴重合;放置并微调待装调激光器前腔镜方位,使得照射到前腔镜的反射光原路返回,然后固定锁紧前腔镜;类似待装调激光器前腔镜安装方法安装激光增益介质;
③粗调辅助装置位置使得所述镜架机械臂(4)加持的待安装激光腔镜中心位于基准光正上方5mm处,借助紧固螺钉依次锁紧所述的三维升降平台(1)、二维调整架(2)、引导支撑架(3)及镜架机械臂(4);
④精调所述的三维升降平台(1),使得镜架机械臂(4)加持的待安装激光腔镜悬空在激光器安装底座上,激光腔镜底部与安装底座间隙1-2mm;精调二维调整架(2)角度使得基准光源(5)照射到待安装激光腔镜的反射光原路返回;
⑤打开待装调激光器泵浦光,精调二维调整架(2)角度,使得激光器输出功率最大,调降三维升降平台(1)使得待安装激光腔镜底部最低点与激光器安装底座接触,同时精调二维调整架(2)角度,使得激光器输出功率维持在最大输出状态,然后关掉激光器泵浦光,在激光器安装底座上投影出待安装激光腔镜架底座的位置并标注,同时借助光场相机(7)观察基准光源(5)照射到待安装激光腔镜后反射到观察屏(6)上的反射光斑,确定反射光斑中心位置C;
⑥修磨镜架机械臂(4)加持的待安装激光腔镜底座底部,使得待安装激光腔镜底座完全固定在激光器安装底座上时,光场相机(7)观察基准光源(5)照射到待安装激光腔镜后反射到观察屏(6)上的反射光斑中心位置C’,与步骤⑤时观察屏(6)上的反射光斑中心位置C重合,重新打开激光器泵浦完成激光器状态确认,若输出功率变小,重复步骤⑤-⑥,直到激光器获得最大功率输出。
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