[发明专利]一种磁控直流放电装置及方法

权利要求书

1.一种磁控直流放电装置，其特征在于：包括反应器、分离装置；

所述反应器设有进气口；所述反应器内设置有两个放电电极，其中一个放电电极为设置在反应器内部中上部的环状导体，反应器的外部与环状导体相对应的位置套设有磁环；另外一个放电电极相对环状导体的环平面垂直设置；所述两个放电电极均与外部的电源电性相连；

反应器的尾部与所述分离装置配合连接。

2.根据权利要求1所述的一种磁控直流放电装置，其特征在于：所述反应器的主体为采用耐高温、绝缘材料制成的圆筒状容腔。

3.根据权利要求2所述的一种磁控直流放电装置，其特征在于：所述反应器的主体为石英管或玻璃管。

4.根据权利要求1所述的一种磁控直流放电装置，其特征在于：所述另外一个放电电极为针状导体。

5.根据权利要求4所述的一种磁控直流放电装置，其特征在于：所述针状导体为石墨棒或金属棒，其中金属棒包括但不限于钨棒、铁棒。

6.根据权利要求1所述的一种磁控直流放电装置，其特征在于：所述环状导体为石墨环或金属环。

7.根据权利要求1所述的一种磁控直流放电装置，其特征在于：所述磁环的材料包括但不限于钕铁硼、铁铬钴磁铁、铁氧体磁铁或永磁体。

8.根据权利要求1所述的一种磁控直流放电装置，其特征在于：所述分离装置为固气过滤装置或者小型旋风分离器。

9.一种基于权利要求1至8任一项所述装置的磁控直流放电方法，其特征在于：选择耐高温、绝缘材料加工成圆筒状作为反应器主体，以耐高温导电材料作为正、负电极，以易电离气体为载气，以磁环为磁场源；将原料气与载气混合通入反应器主体中，通直流电源后，正、负极之间的气体被击穿，形成导电通路，在磁场的作用下，电离气体发生旋转，从而产生大范围高温区域。

10.根据权利要求9所述的一种磁控直流放电方法，其特征在于：在所述反应器的尾部出口配合设置有分离装置，用以包括但不限于将反应生成的固体产物分离收集、将尾气经分离后回收或循环。