[发明专利]一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法有效
申请号: | 201910012834.7 | 申请日: | 2019-01-07 |
公开(公告)号: | CN109623521B | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 周婷;杨瑞宁 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | B24B5/14 | 分类号: | B24B5/14;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/26;B24B47/20 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 滚轮 电极 打磨 装置 及其 方法 | ||
本发明公开了一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法,包括电机、打磨机构和导向条;所述电机固定设置,输出轴上同轴固定有待加工滚轮电极,输出轴下方设置有导向条,导向条的一边为斜边,斜边的垂线与待加工滚轮电极锥面平行;打磨机构的打磨部位平面与底面垂直;打磨时,打磨机构底部的侧面与导向条斜边贴合,打磨部位平面与待加工滚轮电极锥面贴合。在打磨过程中不会改变滚轮电极的锥度,而且保证了锥面的平整度,打磨后的滚轮电极表面光滑,且无异常突起、凹坑,并且降低了平行缝焊过程中打火现象发生率,有效提高了待加工滚轮电极打磨修复的质量,提高了集成电路的封装成品率,提高了滚轮电极打磨的效率,节省了集成电路封装的时间。
技术领域
本发明属于集成电路制造领域,涉及一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法。
背景技术
滚轮电极是平行缝焊设备最基本的、最易消耗的备件。在平行缝焊过程中,滚轮电极易出现打火、磨损和表面平整度降低等问题,造成电路缝焊环漏气或过熔。为了保证电路封装的可靠性,对于出现问题的滚轮电极,工序上需使用砂纸及时打磨。
滚轮电极的锥度是指电极滚轮的斜切面与水平面的夹角。该角度的大小决定了在平行缝焊过程中电极与盖板之间接触面的大小。滚轮电极的锥度越小,滚轮电极与盖板的接触面越大,接触电阻越小。根据P=I2R可知,接触电阻减小时,焊接功率减小,从而造成平行缝焊过程中热量降低,平行缝焊可靠性不稳定。
滚轮电极的表面平整度直接影响着电路的气密性和缝焊环的外观形貌。使用表面凹凸不平的滚轮电极封装时,滚轮电极的凹陷处与盖板接触瞬间,因为接触电阻增大,该点缝焊热量增大,极易产生打火现象。打火点不仅影响电路的外观,更易造成电路缝焊环漏气。
综上所述,滚轮电极的锥度改变和平整度降低直接影响着平行缝焊的可靠性。在滚轮电极打磨过程中,表面平整度的优化以及锥度的控制对提高平行缝焊的可靠性起着至关重要的作用。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的缺点,提供一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法,改善了电极滚轮打磨后表面平整度,实现了电极滚轮打磨过程中锥度的控制。
为达到上述目的,本发明采用以下技术方案予以实现:
一种滚轮电极打磨装置,包括电机、打磨机构和导向条;
所述电机固定设置,输出轴上同轴固定有待加工滚轮电极,输出轴下方设置有导向条,导向条的一边为斜边,斜边的垂线与待加工滚轮电极锥面平行;打磨机构的打磨部位平面与底面垂直;打磨时,打磨机构底部的侧面与导向条斜边贴合,打磨部位平面与待加工滚轮电极锥面贴合。
优选的,还包括固定装置,固定装置包括水平板和移动板,移动板高于水平板且与其平行设置,电机固定设置在水平板上,其输出轴位于移动板上方;打磨时,导向条与打磨机构均设置在在移动板上。
进一步,移动板上设置有两排与电机输出轴平行的若干导向条固定孔,对应的两个导向条固定孔之间的连线与导向条的斜边平行。
进一步,水平板和移动板之间设置有平台板,平台板上设置有若干组沿电机输出轴方向的移动板固定孔。
优选的,电机的驱动轴通过过渡轴套固定连接有滚轮电极夹持装置,滚轮电极夹持装置包括连轴,连轴一端与过渡轴套连接并设置有轴肩,另一端螺接有锁紧螺母,锁紧螺母与轴肩之间嵌套有垫套,待加工滚轮电极固定嵌套在垫套与轴肩之间。
优选的,打磨机构包括打磨板、底板和立筋板,底板水平放置,打磨板和立筋板竖直放置在底板上,三者相互垂直。
进一步,立筋板中部掏空设置。
优选的,打磨板的打磨部位平面上固定有砂纸。
一种滚轮电极打磨方法,基于上述任意一项所述的装置,包括以下方法,
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