[发明专利]一种膜厚测量仪的点位自动调整方法及膜层厚度测量装置

说明书

本发明提供一种膜厚测量仪的点位自动调整方法及膜层厚度测量装置，所述方法包括：在设有彩色滤光膜层的基板上设置目标图像；控制测量探针追踪所述目标图像；当所述测量探针追踪到所述目标图像时，控制所述测量探针对所述膜层厚度开始检测。本发明提供的点位自动调整方法，解决了现有的膜厚测量仪在测量膜层厚度时，需手动校正测量探针的初始测量点，造成测量仪的工作效率低下的技术问题。

技术领域

本发明涉及平板显示行业设备领域，尤其涉及一种膜厚测量仪的点位自动调整方法及膜层厚度测量装置。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)是目前市场上应用最为广泛的显示产品，其中，液晶显示器主要包括液晶显示面板和背光模块，液晶显示面板中的基板在生产完毕后，需要使用膜厚测量仪进行测量，膜厚测量设备作为面板显示行业重要膜厚参数量测设备，在整个工艺流程中起到了膜厚监控的任务。

目前，测量方式可分为接触式测量和光学非接触式测量，光学非接触式测量具有测量速度快、用时快的特点，但是测量的精度及稳定性要差于接触式测量，接触式测量精度高且稳定行强，但是测量速度慢，Recipe建立耗时长，光学非接触式测量由于测量快捷的特点长用于便携式测量，而对于基板的测量则需要选用稳定性强且精度高的接触式测量，接触式测量一般使用测量探针在基板上移动，根据测量探针在移动过程中发生的位移变化计算出膜的厚度。

然而，当测量探针对基板测量完毕再开始测量下一个基板时，需要对初始测量点进行定位和手动调整，以保证每次测量时都是从相同的起始位置开始的，这样有利于后期对各基板的测量参数曲线进行图像比对，但是，每次测量新的基板时，需要手动校正测量初始位置，导致测量工作的工作量增大，测量时间延长，测量工作的工作效率下降。

发明内容

针对现有技术中的上述缺陷，本发明提供了一种膜厚测量仪的点位自动调整方法及膜层厚度测量装置，以解决现有膜厚测量仪中需要手动校正测量探针的初始测量位置只是工作效率低下的技术问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，所述方法包括：

在设有彩色滤光膜层的基板上设置目标图像；

控制测量探针追踪所述目标图像；

当所述测量探针追踪到所述目标图像时，控制所述测量探针对所述膜层厚度开始检测。

如上所述的一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，所述控制测量探针追踪所述目标图像，包括：

控制所述测量探针对所述基板进行扫描，获取扫描图像；

将所述扫描图像与预先存储的所述目标图像进行比对；

当所述扫描图像与所述目标图像相同时，获取所述扫描图像在所述基板上的位置；

根据确定出的图像位置控制所述测量探针向所述目标图像移动。

如上所述的一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，所述对所述基板进行扫描之前，还包括：

将所述目标图像保存到所述测量仪中。

如上所述的一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，所述根据确定出的图像位置控制所述测量探针向所述目标图像移动，包括：

根据所述扫描图像获取所述目标图像的中心点位置；

对所述测量探针在所述目标图像上的位置进行校正，以使所述测量探针与所述目标图像的中心点对齐。

如上所述的一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，对所述测量探针在所述目标图像上的位置进行校正，包括：

将所述测量探针向所述目标图像的中心点移动预设距离；