[发明专利]显示面板走线结构及其制作方法有效
申请号: | 201910013596.1 | 申请日: | 2019-01-07 |
公开(公告)号: | CN109782501B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 郝思坤 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1345;H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;王中华 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 结构 及其 制作方法 | ||
1.一种显示面板走线结构,其特征在于,包括基板(1),所述基板(1)包括扇出区(11),所述扇出区(11)内设有多条依次间隔排列的扇出信号线(12);
每一条扇出信号线(12)的内部均形成有镂空区(121)或每一条扇出信号线(12)两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽(121’);
所述基板(1)还包括与所述扇出区(11)相连的显示区(21),所述显示区(21)内设有多条依次间隔排列的显示信号线(22),每一条显示信号线(22)对应电性连接一条扇出信号线(12);相邻的两条显示信号线(22)之间的间距大于所述相邻的两条扇出信号线(12)之间的间距;
通过在扇出信号线(12)内部形成镂空区(121)或在扇出信号线(12)两侧边缘形成多个依次排列的锯齿槽(121’),使得扇出信号线(12)在制作过程中其对应的光阻薄膜的显影率增加,从而使得扇出信号线(12)与显示信号线(22)的线宽一致;
每一条扇出信号线(12)中的镂空区(121)均从该条扇出信号线(12)一端边缘延伸至该条扇出信号线(12)的另一端边缘。
2.如权利要求1所述的显示面板走线结构,其特征在于,所述扇出信号线(12)的材料为钼、钛、铜及铝中的一种或多种的组合。
3.如权利要求1所述的显示面板走线结构,其特征在于,每一条扇出信号线(12)均电性连接至一驱动芯片。
4.一种显示面板走线结构的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤S1、提供一基板(1),所述基板(1)包括扇出区(11);
步骤S2、在所述扇出区(11)上依次形成导电薄膜(100)及光阻薄膜(200);
步骤S3、提供一光罩(300),所述光罩包括透光区(301)及非透光区(302);
所述透光区(301)对应待形成多条扇出信号线(12)之间的间隔位置及每一条扇出信号线(12)内部的镂空区(121)设置或对应待形成多条扇出信号线(12)之间的间隔位置及每一条扇出信号线(12)的两侧边缘的锯齿槽(121’)位置设置;
所述非透光区(302)对应所述待形成扇出信号线(12)的位置设置;
步骤S4、通过所述光罩(300)对所述光阻薄膜(200)进行曝光及显影,得到光阻图案;
步骤S5、以所述光阻图案为遮挡对所述导电薄膜(100)进行蚀刻,蚀刻完成后去除光阻图案,得到位于所述扇出区(11)内的多条依次间隔排列的扇出信号线(12),且每一条扇出信号线(12)的内部均形成有镂空区(121)或每一条扇出信号线(12)两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽(121’);所述步骤S1中,所述基板(1)还包括与所述扇出区(11)相邻的显示区(21);
所述步骤S2中,所述导电薄膜(100)及光阻薄膜(200)还形成于所述显示区(2)上;
所述步骤S3中,所述透光区(301)还对应待形成多条显示信号线(22)之间的间隔位置设置,所述非透光区(302)还对应待形成多条显示信号线(22)的位置设置;
所述步骤S5中,还得到位于所述显示区(21)内的多条依次间隔排列的显示信号线(22),且每一条显示信号线(22)对应电性连接一条扇出信号线(12);
相邻的两条显示信号线(22)之间的间距大于所述相邻的两条扇出信号线(12)之间的间距;
通过在扇出信号线(12)内部形成镂空区(121)或在扇出信号线(12)两侧边缘形成多个依次排列的锯齿槽(121’),使得扇出信号线(12)在制作过程中其对应的光阻薄膜(200)的显影率增加,从而使得扇出信号线(12)与显示信号线(22)的线宽一致;
每一条扇出信号线(12)中的镂空区(121)均从该条扇出信号线(12)一端边缘延伸至该条扇出信号线(12)的另一端边缘。
5.如权利要求4所述的显示面板走线结构的制作方法,其特征在于,所述扇出信号线(12)的材料为钼、钛、铜及铝中的一种或多种的组合。
6.如权利要求4所述的显示面板走线结构的制作方法,其特征在于,还包括步骤S6、提供一驱动芯片,将每一条扇出信号线(12)均电性连接至驱动芯片。
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