[发明专利]一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法及工装

权利要求书

1.一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：在带有薄膜镜框(3)的薄膜基底(2)表面旋涂光刻胶；

步骤2：调节承片台(5)与掩模板(4)之间的平行度；

步骤3：将内侧支撑工装(6)、外侧高度调节工装(7)先后安装到承片台(5)上，内侧支撑工装(6)位于外侧高度调节工装(7)内侧，内侧支撑工装(6)的安装模块(12)底部和外侧高度调节工装(7)的安装圆环(10)底部均设有多个圆周均布的通孔(13)，通过这些通孔(13)与承片台(5)上相对应的安装孔进行工装的固定；

步骤4：将薄膜基底(2)及薄膜镜框(3)安装到外侧高度调节工装(7)的镜框支撑圆环(8)上，内侧支撑工装(6)位于薄膜基底(2)正下方，内侧支撑工装(6)的薄膜支撑模块(11)的直径与薄膜镜框(3)内径相配合，通过外侧高度调节工装(7)的镜框支撑圆环(8)上的通孔(13)与薄膜镜框(3)底部的安装孔进行薄膜镜框(3)与镜框支撑圆环(8)的连接与固定；所述内侧支撑工装(6)的薄膜支撑模块(11)上表面面形与掩模板(4)铬面面形相匹配；

步骤5：调节外侧高度调节工装(7)，使薄膜基底(2)与薄膜镜框(3)缓慢下降，直至薄膜基底(2)下表面恰好接触内侧支撑工装(6)的薄膜支撑模块(11)上表面；

步骤6：将大面积光刻石英掩模板(4)安装到掩模架上，承片台(5)、内侧支撑工装(6)、外侧高度调节工装(7)、薄膜基底(2)及薄膜镜框(3)同时缓慢上升，接触掩模板(4)后开始曝光，曝光结束后依次分离掩模板(4)以及连在一起的薄膜基底(2)及薄膜镜框(3)，显影后得到大口径薄膜衍射透镜光刻胶结构。

2.根据权利要求1所述的大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法，其特征在于，步骤1中所述薄膜镜框(3)平面度优于0.01mm。

3.根据权利要求1所述的大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法，其特征在于，步骤2中调节承片台(5)与掩模板(4)之间的平行度，调节后二者之间平行度优于0.02mm。

4.根据权利要求1所述的大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法，其特征在于，步骤3中将内侧支撑工装(6)、外侧高度调节工装(7)先后安装到承片台(5)上，安装后内侧支撑工装(6)的薄膜支撑模块(11)上表面与承片台(5)上表面的平行度优于0.02mm。

5.根据权利要求1所述的大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法，其特征在于，步骤4中将薄膜基底(2)及薄膜镜框(3)安装到外侧高度调节工装(7)的镜框支撑圆环(8)上，镜框支撑圆环(8)的初始高度大于内侧支撑工装(6)高度减去薄膜镜框(3)厚度的值。

6.根据权利要求1所述的大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法，其特征在于，步骤5中薄膜基底(2)与内侧支撑工装(6)上表面距离为0-0.01mm，调节到位后薄膜镜框(3)上表面与承片台(5)表面平行度优于0.02mm。

7.一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构曝光工装，其特征在于：包括内侧支撑工装(6)和外侧高度调节工装(7)；所述内侧支撑工装(6)包括薄膜支撑模块(11)、用于支撑薄膜支撑模块(11)和连接承片台(5)的安装模块(12)以及设置在安装模块(12)底部的多个圆周均布通孔(13)；所述内侧支撑工装(6)的通孔(13)与安装孔一一对应；所述安装模块(12)底部面形与承片台(5)表面面形相匹配；所述外侧高度调节工装(7)包括镜框支撑圆环(8)、高度调节机构(9)、用于连接承片台(5)的安装圆环(10)以及设置在镜框支撑圆环(8)和安装圆环(10)上的多个圆周均布通孔(13)；所述外侧高度调节工装(7)的通孔(13)与安装孔一一对应。