[发明专利]石墨烯薄膜转移装置

权利要求书

1.一种石墨烯薄膜转移装置，用以将石墨烯薄膜转移至目标基底，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体具有真空腔体；

滚压机构，位于所述真空腔体内，所述滚压机构包括第一辊轴及与所述第一辊轴相对设置的第二辊轴，所述第一辊轴及所述第二辊轴中的至少一者能够转动；

其中，所述第一辊轴和/或所述第二辊轴能够在转动过程中对经过所述第一辊轴和所述第二辊轴之间的石墨烯薄膜与目标基底进行滚动贴合，以将石墨烯薄膜转移至目标基底。

2.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜转移装置，其特征在于，所述滚压机构还包括驱动系统，所述驱动系统与所述第一辊轴连接，用于驱动所述第一辊轴转动，其中，所述第一辊轴在转动过程中能够带动所述第二辊轴转动。

3.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜转移装置，其特征在于，所述滚压机构还包括调压系统，所述调压系统包括多组调压组件和支撑架，所述第二辊轴的两端分别通过至少一组所述调压组件活动地设置于支撑架，所述调压组件能够驱动所述第二辊轴向靠近或远离所述第一辊轴的方向移动，以调整所述第一辊轴及所述第二辊轴之间的压力。

4.根据权利要求3所述的石墨烯薄膜转移装置，其特征在于，所述调压组件包括滑块、连接部件、弹性部件和螺旋器，所述弹性部件设置于所述支撑架，所述连接部件设置于所述滑块并与所述弹性部件相连，所述螺旋器活动地设置于所述支撑架，所述滑块能够在所述螺旋器的压力作用下带动所述第二辊轴向所述第一辊轴移动，以使所述第二辊轴挤压所述第一辊轴。

5.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜转移装置，其特征在于，所述滚压机构还包括温控系统，所述温控系统与所述第一辊轴和所述第二辊轴中的至少一者连接，用于控制所述第一辊轴和/或所述第二辊轴的温度。

6.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜转移装置，其特征在于，还包括斜劈，所述斜劈位于所述真空腔体内，所述斜劈包括水平板和与所述水平板呈倾斜连接的倾斜板，所述水平板和所述倾斜板的连接处朝向所述滚压机构，且所述水平板和所述倾斜板的连接处具有开口，其中，所述水平板和所述倾斜板中的一者用于放置目标基底，另一者用于放置石墨烯薄膜，所述开口用于供所述目标基底与所述石墨烯薄膜贴合。

7.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜转移装置，其特征在于，还包括：

放卷机构，位于所述真空腔体内，用于放卷目标基底；

升降机构，位于所述真空腔体内，并设置在所述放卷机构的下游，同时设置在所述滚压机构的上游，所述升降机构包括升降部及位于所述升降部上的放置部，所述放置部用于放置石墨烯薄膜，所述升降部能够带动所述放置部向靠近所述目标基底的方向运动，以使所述石墨烯薄膜与所述目标基底连接；

收卷机构，位于所述真空腔体内，并设置在所述滚压机构的下游，用于收卷转移有石墨烯薄膜的目标基底。

8.根据权利要求7所述的石墨烯薄膜转移装置，其特征在于，在所述升降部的升降方向上，所述滚压机构与所述升降机构位于所述放卷机构的同一侧。

9.根据权利要求7所述的石墨烯薄膜转移装置，其特征在于，

在所述升降部的升降方向上，所述放卷机构及所述收卷机构位于所述滚压机构的同一侧。

10.根据权利要求7所述的石墨烯薄膜转移装置，其特征在于，

所述目标基底包括热释放胶带及粘贴在所述热释放胶带的粘接面上的保护膜；

所述石墨烯薄膜转移装置还包括位于所述真空腔体内的剥离机构，所述剥离机构设置在所述放卷机构的下游及所述升降机构的上游，用于将所述保护膜从所述热释放胶带上剥离下来，以使所述放置部上的所述石墨烯薄膜能够与所述热释放胶带粘接。