[发明专利]一种精密运动补偿器、XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统

权利要求书

1.一种精密运动补偿器，其特征在于，具有基底与微动台，所述基底包括底座与固定设置在所述底座上的凸台；

所述微动台的底面具有相对设置并垂直所述底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；

所述弹簧侧侧板与所述凸台的第一端面之间设置有预紧压缩的弹簧，所述压电侧侧板与所述凸台的位于所述第一端面对侧的第二端面之间夹设有压电陶瓷；

所述基底上设置有滑动组件，所述微动台与所述滑动组件连接，并可基于所述滑动组件沿所述弹簧的轴向滑动；

还具有测量部件，用于测量所述微动台的位置。

2.根据权利要求1所述的精密运动补偿器，其特征在于，所述第一端面上设置有与所述弹簧匹配的弹簧定位柱。

3.根据权利要求1所述的精密运动补偿器，其特征在于，还包括预紧螺栓；所述弹簧侧侧板上设置有与所述预紧螺栓匹配的螺纹孔；所述预紧螺栓通过所述螺纹孔与所述弹簧侧侧板连接，其端部对所述弹簧侧侧板内侧的所述弹簧预紧压缩。

4.根据权利要求1所述的精密运动补偿器，其特征在于，所述滑动组件具体包括导轨与滑块；

所述导轨沿所述弹簧的轴向设置在所述基底上，所述滑块套设在所述导轨上，所述微动台与所述滑块连接。

5.根据权利要求4所述的精密运动补偿器，其特征在于，所述导轨具体设置在所述基底的底座上。

6.根据权利要求1所述的精密运动补偿器，其特征在于，所述测量装置具体为光栅尺，所述光栅尺的读数头沿所述弹簧的轴向设置在所述底座上。

7.一种XYZ三维精密运动补偿器，其特征在于，包括两个如权利要求1至6任一项所述的精密运动补偿器，分别为X轴精密运动补偿器与Y轴精密运动补偿器；

所述Y轴精密运动补偿器以所述X轴精密运动补偿器的微动台为底座，层叠设置在所述X轴精密运动补偿器上；

所述Y轴精密运动补偿器的微动台上设置有Z轴精密运动补偿器。

8.根据权利要求7所述XYZ三维精密运动补偿器，其特征在于，所述Z轴精密运动补偿器的底座为所述精密运动Y轴精密运动补偿器的微动台；

所述Z轴精密运动补偿器的底座上固定设置有Z轴凸台，所述Z轴凸台沿竖直方向开设有向下的阶梯孔，在所述阶梯孔中由下至上依次放置有Z轴压电陶瓷、Z轴向推杆与Z轴弹簧，所述Z轴弹簧套设在所述Z轴向推杆上以定位；

所述阶梯孔的下孔与所述Z轴压电陶瓷匹配，其上孔内壁设置有与Z轴预紧螺栓匹配的螺纹；所述Z轴预紧螺栓通过所述螺纹与所述Z轴凸台连接，其端部对所述Z轴弹簧预紧压缩；

所述Z轴预紧螺栓中空设置，所述Z轴微动台与所述Z轴向推杆连接；

还具有Z轴测量部件，用于测量Z轴微动台的位置。

9.根据权利要求8所述的XYZ三维精密运动补偿器，其特征在于，所述Z轴测量部件具体为Z轴光栅尺，所述Z轴光栅尺的读数头竖直设置在其底座。

10.一种XYZ三维精密运动补偿系统，其特征在于，包括上位机与如权利要求7-9任一项所述的XYZ三维精密运动补偿器；

所述上位机用于，根据所述XYZ三维精密运动补偿器中的X、Y和/或Z轴精密运动补偿器的微动台的位置，输出信号控制对应的压电陶瓷。