[发明专利]缺陷确认装置、缺陷确认方法及计算机可读的存储介质

说明书

提高确认缺陷的作业中的确认精度。提供一种缺陷确认装置，用于确认检查对象物上有无缺陷，其具有获取部和输出控制部。获取部针对检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据。输出控制部通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出缺陷图像数据和基准图像数据。

技术领域

本发明涉及缺陷确认装置、缺陷确认方法及计算机可读的存储介质。详细而言，本发明涉及例如检查印刷基板上的布线图案等各种图案或在用于制造印刷基板的抗蚀剂等各种掩模等的基体上形成的各种图案等的技术。本发明尤其涉及例如可视地输出检查对象物的图像和作为用于比较的基准的基准图像的技术。

背景技术

例如，提出有用于对在印刷基板等的基体上形成有布线图案等各种图案的对象物确认各种图案的缺陷的缺陷确认装置(例如参照专利文献1的记载)。

在该缺陷确认装置中，例如，同时以并列的状态显示拍摄检查对象物的一部分而得到的检查图像和作为比较对象的基准图像。此时，用户通过将检查图像与基准图像进行比较，能够确认检查图像所拍摄到的部位有无缺陷。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-91161号公报

然而，在上述专利文献1的技术中，例如，当观察比较检查图像与基准图像时，由于视线在检查图像与基准图像之间移动，因而可能会漏看真正的缺陷。进而，例如，由于因视线的移动引起的用户疲劳的累积等，导致可能会容易漏看真正的缺陷。即，可能会降低确认缺陷的作业的确认精度。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提高确认缺陷的作业的确认精度。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，第一形态的缺陷确认装置用于确认检查对象物上有无缺陷，具有获取部和输出控制部。所述获取部，针对所述检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据。所述输出控制部，通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

第二形态的缺陷确认装置为，根据第一形态的缺陷确认装置，所述输出控制部通过所述输出部以可视方式一起输出所述缺陷图像数据和用于使有可能存在缺陷的部分能够被用户在视觉上识别的要素。

第三形态的缺陷确认装置为，根据第一或第二形态的缺陷确认装置，所述输出控制部通过所述输出部在所述同一显示区域上交替以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

第四形态的缺陷确认装置为，根据第三形态的缺陷确认装置，还具有输入部，该输入部用于根据用户的动作输入信号，所述输出控制部响应于所述输入部根据用户的第一动作输入的第一信号，停止通过所述输出部在所述同一显示区域上交替以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据的交替输出处理。

第五形态的缺陷确认装置为，根据第四形态的缺陷确认装置，所述输出控制部响应于所述交替输出处理的停止，通过所述输出部一起输出所述缺陷图像数据和能够被用户识别的缺陷图像的要素，或者一起输出所述基准图像数据和能够被用户识别的基准图像的要素。

第六形态的缺陷确认装置为，根据第五形态的缺陷确认装置，所述输出控制部在停止所述交替输出处理之后，响应于所述输入部根据用户的第二动作输入的第二信号，通过所述输出部在所述同一显示区域上重叠地以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。