[发明专利]一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘

权利要求书

1.一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘，其特征在于，包括上端盖、下端盖；所述上端盖和下端盖固定连接；所述上端盖中心设有通孔(1-1)，作为气体流入通道；所述下端盖为上端小、下端大的台阶圆柱结构；所述下端盖中心设有与通孔(1-1)同轴的盲孔(2-1)；所述上端盖下部设安装孔(1-2)，下端盖上端圆柱位于安装孔(1-2)内，且下端盖上端圆柱小于安装孔(1-2)尺寸，使得下端盖上端与安装孔(1-2)之间形成空腔(3)，作为空气流入腔；所述下端盖径向上均匀设有多个导气孔(2-2)，所述导气孔(2-2)将盲孔(2-1)与空腔(3)相连通；所述下端盖下端圆柱上端面与上端盖下端面之间设有密封圈(4)，以对空腔(3)进行密封；所述下端盖下端设有一圈环形腔(2-3)，作为涡旋发生腔；所述下端盖上均匀设有至少两个射流发生孔(2-4)；所述射流发生孔(2-4)将空腔(3)与环形腔(2-3)相连通；所述射流发生孔(2-4)的出气口射流方向与环形腔(2-3)径向相切，且所述射流发生孔(2-4)所在平面的法线与吸盘的轴线形成夹角；所述下端盖上沿径向上均匀设有多个分流孔(2-5)，以连通环形腔(2-3)和大气；

所述射流发生孔(2-4)所在平面的法线与吸盘的轴线形成夹角θ的关系为：

其中θ为射流发生孔所在平面法线和吸盘轴线的夹角，R₃为涡旋发生腔半径，d为射流发生孔直径，H₂为上旋腔高度，H₃为下旋腔高度。

2.根据权利要求1所述的真空吸盘，其特征在于，所述射流发生孔(2-4)所在平面的法线与吸盘的轴线的夹角θ≤4°。

3.根据权利要求1所述的真空吸盘，其特征在于，所述射流发生孔(2-4)所在平面的法线与吸盘的轴线的夹角为2°～4°。

4.根据权利要求1所述的真空吸盘，其特征在于，所述下端盖底部均匀设有多圈环形槽(2-6)，沿径向上均匀设有多个直线槽(2-7)；所述直线槽(2-7)与环形槽(2-6)一起形成缓流阵列。