[发明专利]一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器有效
申请号: | 201910021815.0 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN109632093B | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 徐州天骋智能科技有限公司 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏省徐州市高新技术产*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 增强 灵敏性 亚太 赫兹 探测器 | ||
1.一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器,包括衬底层(1),其特征在于:所述衬底层(1)的上方设置有引线电极(2)以及对数周期天线(3),对数周期天线(3)的两臂分别与对应的引线电极(2)电连接;所述对数周期天线(3)的两臂之间设置有石墨烯导电层(4),该石墨烯导电层(4)与对数周期天线(3)的两臂电连接,所述石墨烯导电层(4)的上方设置有介质层(5),所述介质层(5)上设置有劈裂栅极(6),以及与劈裂栅极(6)电连接的引线电极(2);所述石墨烯导电层(4)的中部段(7)设置有多个间隔的中空孔;
其中,所述石墨烯导电层(4)的中部段(7)的上方设置有第一半导体(8)、第二半导体(9),第一半导体(8)与第二半导体(9)构成PN结。
2.如权利要求1所述的一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器,其特征在于:所述石墨烯导电层(4)的中部段(7)还可为螺旋条状。
3.如权利要求1或2所述的一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器,其特征在于:所述中部段(7)的石墨烯条宽度为0.05mm~0.5mm。
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