[发明专利]一种检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法

权利要求书

1.一种检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，采用紫外可见分光光度法检测铝蚀刻液中硝酸含量，包括以下步骤：

配置不同浓度的硝酸标准溶液；

在特征波长下，采用紫外可见分光光度计测试不同浓度的所述硝酸标准溶液的吸光度，绘制浓度-吸光度的标准曲线，拟合得到硝酸根离子的浓度-吸光度的线性公式，其中，所述特征波长为对硝酸根离子有紫外吸收的波长；

将待测铝蚀刻液稀释处理后获得待测样品，在与所述硝酸标准溶液相同的检测条件下，采用紫外可见分光光度计测试所述待测样品的吸光度，将测得的吸光度值代入所述线性公式中，计算所述待测样品的硝酸根离子浓度；

根据待测样品的稀释倍数，计算所述待测铝蚀刻液中的硝酸根离子浓度，根据所述待测铝蚀刻液中的硝酸根离子浓度计算所述待测刻蚀液中硝酸的含量。

2.如权利要求1所述的检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述特征波长为300nm～310nm。

3.如权利要求1所述的检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述配置不同浓度的硝酸标准溶液的步骤包括：

提供浓硝酸，将所述浓硝酸稀释至0.8～1.2mol/L，得到中间液；

用滴定法标定所述中间液，计算所述中间液中硝酸根离子的浓度；

将所述中间液稀释成不同倍数，根据稀释倍数，计算稀释后的中间液的硝酸根离子浓度，得到不同浓度的硝酸标准溶液。

4.如权利要求3所述的检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述浓硝酸为质量分数为70％-75％的硝酸水溶液。

5.如权利要求3所述的检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述用滴定法标定所述中间液的步骤包括：以1.0mol/L的氢氧化钠标准溶液作为滴定剂，采用自动电位滴定法进行滴定，选取第一个等当点作为滴定终点。

6.如权利要求3所述的检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述用滴定法标定所述中间液的步骤包括：以1.0mol/L的氢氧化钠标准溶液作为滴定剂，以酚酞作为指示液，采用手动滴定法进行滴定。

7.如权利要求1-6任一项所述的检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，在检测所述待测样品的吸光度前，还包括采用已知浓度的浓硝酸对所述标准曲线进行校验处理。

8.如权利要求1-6任一项所述的检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述待测样品的稀释倍数为10-30倍。

9.如权利要求3-6任一项所述的检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，将所述中间液稀释成不同倍数的步骤中，稀释倍数为10-200倍。

10.如权利要求1-6任一项所述的检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述不同浓度的硝酸标准溶液的份数大于等于5份。