[发明专利]一种具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器

权利要求书

1.一种具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器，包括一体化封装部件（8）和热敏石英谐振器（1）并且一体化封装部件（8）内充满氦气，所述一体化封装部件（8）包括管帽（2）和管座（20），管座（20）包括绝缘子（17）、第一管脚（18）和第二管脚（19），第一管脚（18）与热敏石英谐振器（1）的第一汇流条电极（6）相连，第二管脚（19）与热敏石英谐振器（1）的第二汇流条电极相连，其特征在于，热敏石英谐振器（1）包括基部区（15）和n个振臂，n为不小于四的偶数，振臂的顶部均为等腰三角形，振臂的底部均为矩形，振臂均从基部区（15）沿石英晶体机械轴Y^/的正向伸出, 热敏石英谐振器（1）采用双转角xytl(115°±0.5°)/（30°±5°)石英晶体。

2.根据权利要求1所述的具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器，其特征在于，所述n为4时，振臂包括第一振臂（11）、第二振臂（12）、第三振臂（13）和第四振臂（14），第一振臂（11）的内边缘至第二振臂（12）的左边缘的间距为G₁，第二振臂（12）的右边缘至第三振臂（13）的左边缘的间距为G₂，第三振臂（13）的右边缘至第四振臂（14）的左边缘的间距为G₃，G₁、G₂和G₃的数值相同并且G₁与振臂厚度T的比值为G₁/T=0.2～1。

3.根据权利要求1所述的具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器，其特征在于，所述等腰三角形的顶角之角平分线均与每条振臂的中心线重合，并且与石英晶体的机械轴Y^/方向偏离误差△YY^/不大于60'。

4.根据权利要求1所述的具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器，其特征在于，所述热敏石英谐振器（1）包括多个激励电极，每个振臂仅在其左右两侧设置有激励电极。

5.根据权利要求2所述的具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器，其特征在于，所述基部区（15）设置有第一圆形盲孔（67）、第二圆形盲孔（68）、第一椭圆通孔（57）和第二椭圆通孔（58），第一汇流条电极（6）位于基部区（15）正面，第二汇流条电极位于基部区（15）背面，第一汇流条电极（6）和第二汇流条电极均与对应的激励电极相连。

6.根据权利要求2所述的具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器，其特征在于，所述基部区（15）包括上工字梁区（55）和下工字梁区（56），基部区（15）与振臂采用一体化结构，上工字梁区（55）和下工字梁区（56）的厚度均与振臂的厚度相同。

7.根据权利要求6所述的具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器，其特征在于，所述下工字梁区（56）的底边加工有一个矩形通透缺口（69）。

8.根据权利要求7所述的具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器，其特征在于，矩形通透缺口（69）的长边对称中心线与G₂的中心线重合，矩形通透缺口（69）的长边尺寸D₅：D₅≥(W₂＋G₂＋W₃)；矩形通透缺口（69）的短边尺寸D₆：D₆≥1/2 ×D₃。

9.根据权利要求5所述的具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器，其特征在于，第一椭圆通孔（57）位于第一振臂（11）的内边缘至第二振臂（12）的左边缘的间距的相对处，第一椭圆通孔（57）的长轴直径的数值不小于G₁的数值，第二椭圆通孔（58）位于第三振臂（13）的右边缘至第四振臂（14）的左边缘的间距的相对处，第二椭圆通孔（58）的长轴直径的数值不小于G₃的数值，第一圆形盲孔（67）位于第一振臂（11）的相对位置处，第一圆形盲孔（67）直径的数值不小于W₁的数值，第二圆形盲孔（68）位于第四振臂（14）的相对位置处，第二圆形盲孔（68）直径的数值不小于W₄的数值。