[发明专利]超声烧结封装装置

权利要求书

1.一种超声烧结封装装置，应用于耐高温的压力传感器，所述压力传感器包括一不锈钢外壳，所述不锈钢外壳的底部设置有一管座，所述管座的顶端由下至上依次设置有下玻璃层、绝缘层和上玻璃层；其特征在于，所述超声烧结封装装置包括：

加热平台，设置在所述不锈钢外壳的底端，用于给所述压力传感器的烧结封装提供热能；

超声发生装置，设置在所述不锈钢外壳的顶端，用于给所述压力传感器的烧结封装提供超声能。

2.根据权利要求1所述的超声烧结封装装置，其特征在于，所述加热平台的顶部设置有一上凸台，所述上凸台插设在所述不锈钢外壳的底端，所述上凸台的顶端与所述管座的底端相接触。

3.根据权利要求1所述的超声烧结封装装置，其特征在于，所述超声发生装置包括一加载夹具、一超声换能器和一超声驱动器，所述加载夹具插设在所述不锈钢外壳的顶端，所述加载夹具底部设置的一下凸台与所述上玻璃层相接触，所述加载夹具的顶端开设有一带螺纹的安装孔，所述安装孔的底端与所述下凸台的底端连通；所述超声换能器的底端设置有一带螺纹的安装头，所述超声换能器通过所述安装头螺旋插设在所述加载夹具的顶端；所述超声驱动器套设在所述超声换能器的顶端。

4.根据权利要求3所述的超声烧结封装装置，其特征在于，所述超声换能器的外侧壁上还环绕设置有一节点凸台，所述节点凸台与一液压加载系统连接。

5.根据权利要求1所述的超声烧结封装装置，其特征在于，所述管座上设置有多个引脚，每个所述引脚均贯穿所述管座的顶面和底面。

6.根据权利要求5所述的超声烧结封装装置，其特征在于，所述下玻璃层上设置有和所述引脚数量对应的引线孔，每个所述引线孔均贯穿所述下玻璃层的顶面和底面，每个贯穿所述管座顶面的所述引脚延伸至对应的所述引线孔内。

7.根据权利要求6所述的超声烧结封装装置，其特征在于，所述绝缘层的底面还设置有多个电阻块和压阻，所述电阻块设置在所述引线孔的顶端位置处，所述下玻璃层和所述绝缘层通过所述电阻块连接，所述压阻设置于所述绝缘层、所述下玻璃层和所述电阻块围成的空腔里。

8.根据权利要求7所述的超声烧结封装装置，其特征在于，所述管座与所述不锈钢外壳之间，所述下玻璃层与所述管座之间均铺设有粉体材料。

9.根据权利要求8所述的超声烧结封装装置，其特征在于，所述引线孔内还涂设有导电浆料。