[发明专利]开关门装置及甩干设备

说明书

本发明提供了一种开关门装置及甩干设备，涉及单晶圆加工设备技术领域，以缓解现有技术中存在的门体需要操作者手动开启或关闭的技术问题。该开关门装置包括第一支撑件、第二支撑件、驱动机构、门体和状态检测机构；第一支撑件和第二支撑件间隔设置，门体位于第一支撑件和第二支撑件之间；驱动机构安装于第一支撑件，并与门体传动连接，驱动机构结构接收设备控制系统的控制信号以驱动门体打开和关闭；状态检测机构安装于第二支撑件，并与门体传动连接，状态检测机构能够检测门体所处状态、产生状态信号，并将状态信号传递至设备控制系统。该甩干设备包括上述的开关门装置。本发明提供的开关门装置的门体能够根据机械手进出甩干槽自动打开或关闭。

技术领域

本发明涉及单晶圆加工设备技术领域，尤其是涉及一种开关门装置及甩干设备。

背景技术

在晶圆加工过程中，需要对晶圆进行机械抛光处理。抛光处理后的晶圆需要进行清洗甩干作业。在晶圆清洗甩干工序后，机械手进出甩干槽对晶圆进行夹取。现有甩干槽的门体需要操作者手动开启或关闭，操作者需要频繁操作，费时费力，急需一种能够自动开关门装置。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成本领域技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种开关门装置及甩干设备，以缓解现有技术中存在的门体需要操作者手动开启或关闭的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供以下技术方案：

一种开关门装置，包括第一支撑件、第二支撑件、驱动机构、门体和状态检测机构；

所述第一支撑件和所述第二支撑件间隔设置，所述门体位于所述第一支撑件和所述第二支撑件之间；

所述驱动机构安装于所述第一支撑件，并与所述门体传动连接，所述驱动机构结构接收设备控制系统的控制信号以驱动所述门体打开和关闭；

所述状态检测机构安装于所述第二支撑件，并与所述门体传动连接，所述状态检测机构能够检测所述门体所处状态、产生状态信号，并将所述状态信号传递至设备控制系统。

进一步，所述驱动机构包括旋转电缸和转动体；

所述旋转电缸安装于所述第一支撑件；

所述转动体安装于所述旋转电缸的法兰，并与所述门体连接。

进一步，所述状态检测机构包括从动轴、从动轮、位置片和位置传感器；

所述从动轮安装于所述第二支撑件；

所述从动轴的一端与所述门体连接；所述从动轴的另一端连接于所述从动轮，带动所述从动轮转动；

所述位置片的一端与所述从动轮连接；

两个所述位置传感器沿所述从动轮的周向间隔设置于所述第二支撑件，两个所述位置传感器能够检测所述位置片的位置、产生所述状态信号并将所述状态信号传递至设备控制系统。

进一步，还包括限位机构，所述限位机构安装于所述旋转电缸，用于限制所述旋转电缸的转动角度。

进一步，所述限位机构包括限位轮、限位块和阻挡组件；

所述限位轮安装于所述旋转电缸的法兰与所述转动体之间；

两个所述限位块的沿所述限位轮的周向间隔连接于所述限位轮的外侧；

所述阻挡组件设置于所述旋转电缸的外侧面，能够阻挡所述限位块。

进一步，所述阻挡组件包括连接件和阻挡杆；

所述连接件安装于所述旋转电缸的外侧面；