[发明专利]一种具有可动结构的器件的表面防护方法

权利要求书

1.一种具有可动结构的器件的表面防护方法，所述器件为传感器或执行器，其特征在于，包括步骤：

S20、将所述器件置于化学气相沉积室内，在沉积温度-20～400℃的条件下，将沉积材料均匀地沉积在所述器件的外围，在所述器件的外围形成第一保护层；

S30、采用原子层沉积技术在所述第一保护层的外围形成第二保护层；

其中，所述第二保护层为氧化物或金属形成的纳米级涂层，用于防护10个以下的水或其它液体分子组成的小分子团的侵蚀、或者尺寸小于等于所述小分子团的离子或分子的侵蚀；所述第一保护层为聚合物形成的微米级防止液体影响的涂层，用于防护10个以上的水或其它液体分子组成的大分子团的侵蚀、或者尺寸大于等于所述大分子团的离子或分子的侵蚀；

其中，作为第二保护层的所述纳米级涂层渗透到作为第一保护层的微米级防止液体影响的涂层的微孔中，从而形成一种立体的第二保护层。

2.根据权利要求1所述的表面防护方法，其特征在于，

采用氧化铝形成所述纳米级涂层；

和/或，采用聚对二甲苯形成所述微米级防止液体影响的涂层。

3.根据权利要求1所述的表面防护方法，其特征在于，形成所述纳米级涂层的操作过程包括：

将所述器件置于原子层沉积室内，在沉积温度-40～350℃的条件下，将沉积材料以单原子膜的形式逐层地沉积在所述器件的外围，沉积层数为1～9000层。

4.根据权利要求1所述的表面防护方法，其特征在于，所述纳米级涂层的厚度为0.1～900纳米；和/或，所述微米级防止液体影响的涂层的厚度为0.1～3000微米。