[发明专利]晶圆清洗机构

权利要求书

1.晶圆清洗机构，其特征在于，包括驱动电机、晶圆夹紧支架及晶圆喷洗机件，

所述驱动电机上设置有进气口、进液口及接线口，所述驱动电机内部中空，所述驱动电机内设置有气流管路及液流管路，所述进气口与气流管路相通，所述进液口与液流管路相通；

所述晶圆夹紧支架设置于所述驱动电机的输出轴上，所述晶圆夹紧支架具有夹持部，所述晶圆夹紧支架的夹持部形成晶圆夹紧位；

所述晶圆喷洗机件设置于所述晶圆夹紧支架上，并位于所述晶圆夹紧位下方；所述晶圆喷洗机件具有喷气管及喷液管，所述喷气管与所述气流管路相通，所述喷液管与所述液流管路相通。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗机构，其特征在于，所述驱动电机的输出轴露出于所述驱动电机的顶部；

所述进气口及进液口设置于所述驱动电机的底部，并且所述进气口及进液口的朝向与所述驱动电机的输出轴的设置方向相垂直；

所述接线口设置于所述驱动电机的侧部。

3.根据权利要求1所述的晶圆清洗机构，其特征在于，所述晶圆喷洗机件的喷气管具有两条；

所述气流管路具有主气流管部及分气流管部，所述进气口与所述气流管路的主气流管部的一端相通，所述气流管路的主气流管部的另一端在靠近所述晶圆喷洗机件的位置分为两条所述分气流管部，所述晶圆喷洗机件的喷气管与相对应的所述气流管路的分气流管部相通。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗机构，其特征在于，所述气流管路在其主气流管部与分气流管部的分路处设置有密封件。

5.根据权利要求3所述的晶圆清洗机构，其特征在于，所述晶圆喷洗机件的两条所述喷气管位于同一直线上。

6.根据权利要求5所述的晶圆清洗机构，其特征在于，所述晶圆喷洗机件的喷液管具有一条，所述晶圆喷洗机件的喷液管设于所述晶圆喷洗机件的两条所述喷气管之间，所述晶圆喷洗机件的喷液管与所述晶圆喷洗机件的两条所述喷气管处于同一平面，并且所述晶圆喷洗机件分别与所述晶圆喷洗机件的两条所述喷气管相垂直。

7.根据权利要求1所述的晶圆清洗机构，其特征在于，所述气流管路及液流管路在靠近于所述晶圆喷洗机件位置的外围设置有第一防水件，所述第一防水件紧贴所述气流管路及液流管路。

8.根据权利要求7所述的晶圆清洗机构，其特征在于，所述第一防水件的的外围还设置有第二防水件。

9.根据权利要求1所述的晶圆清洗机构，其特征在于，所述晶圆夹紧支架具有至少三个连接臂，

所述晶圆夹紧支架的连接臂的一端转动设置有夹持爪，所述夹持爪的上端部具有所述夹持部，所述夹持爪的下端部设置有用于调节所述夹持爪的调节机件。

10.根据权利要求9所述的晶圆清洗机构，其特征在于，所述调节机件包括下调节块、上调节块及压簧，

所述夹持爪的下端部开设有安装孔，所述下调节块及上调节块设置于所述安装孔处，并与所述安装孔螺纹连接；所述压簧的一端设置于所述下调节块上，所述压簧的另一端穿过所述上调节块，并抵于所述晶圆夹紧支架的连接臂上。