[发明专利]废硅泥再利用的处理方法

说明书

本发明公开了一种废硅泥再利用的处理方法，其方法如下：(1)将废硅泥依次置入第一反应槽、第二反应槽、第三反应槽、第四反应槽以及第五反应槽内分别进行清洗、磁选、清洗、酸洗以及清洗的处理步骤；(2)将得自步骤(1)的废硅泥以固液比1：5～50的比例与去离子水混合调成泥浆，并加入分散剂进行分散；(3)将得自步骤(2)的泥浆以高压喷入一反应室内，在该反应室内，该泥浆经氧化反应形成二氧化硅颗粒；(4)将得自步骤(3)的颗粒以旋风集尘器收集，可得高纯度微米级的二氧化硅粉粒；(5)将得自步骤(4)的粉粒进行粒径分级，可得粒度均匀且大于99％的高纯度二氧化硅粉体；如此，该高纯度二氧化硅粉体可广泛运用于工业填充材，可使废硅泥资源化再利用。

技术领域

本发明涉及一种废硅泥再利用的处理方法，特别涉及一种将废硅泥经处理后制成高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材。

背景技术

目前，废硅泥来源为半导体或太阳能晶圆厂经切割或研磨制程产生，此类废硅泥一般不含切削油及碳化硅，其含液量大于80％，业界有许多回收处理废硅泥的方法，例如将硅泥干燥形成低纯度的硅粉、添加黏结剂，均匀混合后再压制成硅碇或是高温熔融后形成硅块；本发明的方法是提供一种新的回收技术，所提纯的二氧化硅粉体可应用于工业填充材。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种废硅泥再利用的处理方法，可将废硅泥再生为高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材使用。

为了达到上述目的，本发明采用了以下技术手段：

本发明的一种废硅泥再利用的处理方法，包括以下步骤：

(1)将废硅泥置于承载盘批次置入第一反应槽内，该反第一应槽为超音波清洗槽，其清洗条件为50～200KHz，清洗时间为5～15分钟；其后将其取出置于第二反应槽内进行磁选，磁选时间为5～15分钟，该第二反应槽内于磁选前加入3～20％v/v的分散剂，该分散剂为醇类；其后再将其取出置于第三反应槽内以去离子水进行清洗，清洗时间为5～15分钟，清洗后再将其取出置于第四反应槽内进行酸洗，酸洗时间为5～15分钟；其后将其取出置于第五反应槽内再以去离子水进行清洗，清洗时间为15～30分钟；

(2)将得自步骤(1)的废硅泥以固液比1：5～50的比例与去离子水混合调成泥浆，并加入一醇类作为分散剂进行分散，分散时间为30分钟以上；

(3)将得自步骤(2)的泥浆以高压喷入一反应室内，该反应室为可控制气氛的气氛炉，该气氛炉中的气体温度为1200℃～1800℃，在该反应室内，该泥浆经氧化反应形成二氧化硅颗粒；

(4)将得自步骤(3)的颗粒以旋风集尘器收集，可得高纯度微米级的二氧化硅粉粒；

(5)将得自步骤(4)的粉粒进行粒径分级，可得粒度均匀且硅含量大于99％的高纯度二氧化硅粉体。

本发明所述的废硅泥再利用的处理方法中，优选的，所述的废硅泥成分的硅含量为90％以上。

本发明所述的废硅泥再利用的处理方法中，优选的，该酸洗的酸剂为无机酸，该酸剂为25％v/v的纯盐酸、10％v/v的纯硫酸、20％v/v的纯硝酸、10％v/v的纯磷酸以及35％v/v的去离子水的混合物。

本发明所述的废硅泥再利用的处理方法中，优选的，该醇类为甲醇、乙醇、乙二醇、二乙二醇、聚乙二醇、异丙醇其中之一或两种以上的混合物。

本发明废硅泥再利用的处理方法，其中，该气氛炉中的气体为氧气或空气。

本发明废硅泥再利用的处理方法，其优点在于：可简单且快速的将废硅泥再生为高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材使用，使废硅泥达到最佳的资源化再利用。

附图说明

图1所示为本发明实施例方法的流程图。