[发明专利]声波器件、滤波器以及复用器有效
| 申请号： | 201910028166.7 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN110086445B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 岩城匡郁;佐藤良夫 | 申请（专利权）人： | 太阳诱电株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145;H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 声波 器件 滤波器 以及 复用器 | ||
声波器件、滤波器以及复用器。一种声波器件包括：该Y切割X传播钽酸锂基板具有5°以上且18°以下的切割角；和格栅电极，该格栅电极由层叠在钽酸锂基板上的一个或更多个金属膜形成，一个或更多个金属膜的数量为n(n为自然数)，该格栅电极激发声波，并且满足以下条件：其中，ρi表示一个或更多个金属膜中的各金属膜的密度，hi表示各金属膜的膜厚，ρ0表示Mo的密度，并且λ表示节距。
技术领域
本发明的特定方面涉及声波器件、滤波器以及复用器。
背景技术
在由移动电话代表的高频通信系统中，使用高频滤波器来去除除了在用于通信的频带中的信号之外的不必要信号。在高频滤波器中使用包括表面声波(SAW)谐振器的声波器件。表面声波谐振器是叉指换能器(IDT)的格栅电极形成在压电基板上的元件。已知如例如在日本专利申请公报No.2016-136712中公开的通过使得由格栅电极激发的表面声波的声速低于穿过压电基板传播的体波的声速来降低损失。
发明内容
根据本发明的第一方面，提供了一种声波器件，该声波器件包括：Y切割X传播钽酸锂基板，该Y切割X传播钽酸锂基板具有5°以上且18°以下的切割角；和格栅电极，该格栅电极由层叠在钽酸锂基板上的一个或更多个金属膜形成，一个或更多个金属膜的数量为n，n为自然数，该格栅电极激发声波，并且满足以下条件：
其中，ρi表示一个或更多个金属膜中的各金属膜的密度，hi表示各金属膜的膜厚，ρ0表示Mo的密度，并且λ表示节距。
根据本发明的第二方面，提供了一种声波器件，该声波器件包括：Y切割X传播钽酸锂基板，该Y切割X传播钽酸锂基板具有5°以上且18°以下的切割角；和格栅电极，该格栅电极设置于钽酸锂基板上，并且激发声波，声波的主模式是SH型振荡模式，声波的声速低于瑞利模式寄生的声速。
根据本发明的第三方面，提供了一种包括上述声波器件的滤波器。
根据本发明的第四方面，提供了一种包括上述滤波器的复用器。
附图说明
图1A是第一实施方式中的声波谐振器的平面图，并且图1B是沿着图1A中的线A-A截取的剖面图；
图2是包括根据第一实施方式的声波谐振器的梯型滤波器的电路图；
图3A至图3C分别例示了串联谐振器、并联谐振器以及滤波器的通过特性；
图4A和图4B分别是在仿真1中的旋转Y切割角是0°和3°时的归一化频率对|Y|的图；
图5A和图5B分别是在仿真1中的旋转Y切割角是5°和8°时的归一化频率对|Y|的图；
图6A和图6B分别是在仿真1中的旋转Y切割角是10°和11°时的归一化频率对|Y|的图；
图7A和图7B分别是在仿真1中的旋转Y切割角是13°和14°时的归一化频率对|Y|的图；
图8A和图8B分别是在仿真1中的旋转Y切割角是15°和16°时的归一化频率对|Y|的图；
图9A和图9B分别是在仿真1中的旋转Y切割角是18°和20°时的归一化频率对|Y|的图；
图10A和图10B分别是在仿真1中的旋转Y切割角是25°和30°时的归一化频率对|Y|的图；
图11是仿真2中的对旋转Y切割角的瑞利波不必要响应强度的图；
图12是仿真2中的对旋转Y切割角的瑞利波不必要响应强度的图；
图13是仿真2中的对旋转Y切割角的瑞利波不必要响应强度的图；
图14是仿真3中的对旋转Y切割角的瑞利波不必要响应强度的图；
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