[发明专利]机械手装置在审
| 申请号： | 201910028545.6 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN109677928A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 李玉敏;姚远;尹影;佀海燕;费玖海 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/90 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王术兰 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 卸载 定位机械手 机械手装置 机械手 机械手导轨 导轨 基片移动 预设位置 同一水平线 安装定位 平行设置 外接装置 占地空间 多工序 工位 取下 外接 预设 平行 节约 | ||
1.机械手装置，其特征在于，包括用于带动外接基片移动及放置于预设位置上的定位机械手、用于从将所述基片从所述预设位置取下并加工处理后的外接装置上将基片卸载的卸载机械手，所述卸载机械手将所述基片移动至预设工位；
所述机械手装置还包括用于安装所述定位机械手的定位机械手导轨、用于安装所述卸载机械手的卸载机械手导轨，所述定位机械手导轨与所述卸载机械手导轨相互平行，所述卸载机械手的水平面高度高于所述定位机械手的水平面高度。
2.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，所述定位机械手为C型机械手，所述外接装置为抛光头，所述预设位置上设有外接基片顶针台。
3.根据权利要求2所述的机械手装置，其特征在于，所述C型机械手的上表面设有四个用于放置所述基片的凸起。
4.根据权利要求3所述的机械手装置，其特征在于，所述凸起包括用于承载所述基片的承重凸起及设于所述承重凸起上表面用于对所述基片进行限位的限位凸起，所述承重凸起及所述限位凸起均为圆柱形，所述限位凸起的直径小于所述承重凸起的直径，所述限位凸起的圆心位置与所述承重凸起的圆心位置重合。
5.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，所述卸载机械手为U型机械手，所述U型机械手设有三个像中心方向延伸用于承接所述基片的悬臂。
6.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，所述卸载机械手及卸载机械手导轨均为两个，每一所述卸载机械手对应安装于一个所述卸载机械手导轨，两个所述卸载机械手导轨相互平行且不在同一水平线上。
7.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，还包括用于驱动所述卸载机械手在所述卸载机械手导轨上移动的第一电机。
8.根据权利要求7所述的机械手装置，其特征在于，还包括用于驱动所述定位机械手在所述定位机械手导轨上移动的第二电机。
9.根据权利要求8所述的机械手装置，其特征在于，还包括基座，所述第一电机及所述第二电机均安装于所述基座上。
10.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，还包括用于驱动所述卸载机械手上下移动的驱动部件。
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