[发明专利]基板处理装置以及控制方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，使处理带抵接于处理对象物，通过该处理带和处理对象物的相对运动来处理该处理对象物，所述基板处理装置的特征在于，具备：

带供给卷轴，该带供给卷轴用于供给处理带；

带回收卷轴，该带回收卷轴用于回收所述处理带；

回收用电动机，该回收用电动机向所述带回收卷轴提供转矩；

带进给电动机，该带进给电动机在所述带供给卷轴与所述带回收卷轴之间送出所述处理带；以及

控制部，该控制部控制所述带进给电动机，

所述控制部使用由所述带进给电动机送出的带进给长度和该处理带的厚度，并配合由所述带回收卷轴卷绕的处理带的卷绕体的外径的变化来控制所述回收用电动机的转矩，以使得施加于该处理带的张力恒定，

在所述回收用电动机的转矩的控制中，所述控制部基于由所述带进给电动机送出的带进给长度和该处理带的厚度来确定由所述带回收卷轴回收的处理带的卷绕体的外径，并根据该卷绕体的外径来控制所述回收用电动机的转矩，

所述回收用电动机是转矩电动机，

将以下的转矩指令值作为设定转矩指令值存储在存储装置：该转矩指令值是在所述处理带的卷绕体的外径为最大的情况下，当以作为恒定地施加于该处理带的张力的设定张力拉伸了该处理带时，控制器所输出的转矩指令值，

所述控制部具有：

控制器，该控制器输出所述设定转矩指令值；

转矩可变组件，该转矩可变组件根据已确定的所述处理带的卷绕体的直径或半径来确定使该处理带的张力恒定的转矩，确定将所确定的转矩除以所述设定转矩指令值而得到的系数，将该系数乘以所述设定转矩指令值，并输出通过相乘得到的转矩指令值；以及

驱动器，该驱动器驱动所述回收用电动机，以使得从所述转矩可变组件输出的转矩指令值的转矩施加于所述回收用电动机。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述转矩可变组件具有D/A转换器，

当输出所述转矩指令值时，所述D/A转换器将该转矩指令值从数字信号转换为模拟信号后输出。

3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述带进给电动机是伺服电动机，

所述控制部基于从开始进给所述处理带直至一时间点为止的所述伺服电动机的旋转次数和预先已设定的每一次旋转的带进给长度，来确定由所述带进给电动机送出的带进给长度，所述一时间点是指要确定所述带进给长度的当前的控制时钟的时间点。

4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述控制部使用由所述带进给电动机送出的带进给长度来确定所述处理带的更换时机。

5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

还具备供给用电动机，该供给用电动机向所述带供给卷轴提供转矩，

所述供给用电动机是伺服电动机，

所述控制部根据卷绕在所述带供给卷轴上的处理带的外径而控制向所述供给用电动机提供的转矩，以使得施加于所述处理带的张力恒定。

6.一种控制方法，是基板处理装置所执行的控制方法，该基板处理装置使处理带抵接于处理对象物，通过该处理带和处理对象物的相对运动来处理该处理对象物，并且该基板处理装置具备：

带供给卷轴，该带供给卷轴用于供给处理带；

带回收卷轴，该带回收卷轴用于回收所述处理带；

回收用电动机，该回收用电动机向所述带回收卷轴提供转矩；

带进给电动机，该带进给电动机在所述带供给卷轴与所述带回收卷轴之间送出所述处理带；以及

控制部，该控制部控制所述带进给电动机，

所述控制方法的特征在于，

具有如下的控制步骤：所述控制部使用由所述带进给电动机送出的带进给长度和该处理带的厚度，并配合由所述带回收卷轴卷绕的处理带的卷绕体的外径的变化来控制所述回收用电动机的转矩，以使得施加于该处理带的张力恒定，

在所述控制步骤中，基于由所述带进给电动机送出的带进给长度和该处理带的厚度来确定由所述带回收卷轴回收的处理带的卷绕体的外径，并根据该卷绕体的外径来控制所述回收用电动机的转矩，

所述回收用电动机是转矩电动机，

将以下的转矩指令值作为设定转矩指令值存储在存储装置：该转矩指令值是在所述处理带的卷绕体的外径为最大的情况下，当以作为恒定地施加于该处理带的张力的设定张力拉伸了该处理带时，控制器所输出的转矩指令值，

所述控制部具有：

控制器，该控制器输出所述设定转矩指令值；

转矩可变组件，该转矩可变组件根据已确定的所述处理带的卷绕体的直径或半径来确定使该处理带的张力恒定的转矩，确定将所确定的转矩除以所述设定转矩指令值而得到的系数，将该系数乘以所述设定转矩指令值，并输出通过相乘得到的转矩指令值；以及

驱动器，该驱动器驱动所述回收用电动机，以使得从所述转矩可变组件输出的转矩指令值的转矩施加于所述回收用电动机。