[发明专利]一种微蚀刻废液阴阳离子全回收利用方法

权利要求书

1.一种微蚀刻废液阴阳离子全回收利用方法，其特征在于，所述全回收利用方法包括如下步骤：

(1)将待处理的微蚀刻废液的pH值调整到2.5～3.5之间，然后再将调整后的微蚀刻废液输送给萃取设备；

(2)萃取设备对微蚀刻废液进行萃取作业后，产出萃余液、洗水和富铜液；

(3)将洗水和萃余液混合后经过棉芯过滤、活性炭过滤和离子交换树脂过滤后，去除废有机质，截留残余重金属离子得到无色硫酸铵液；

(4)然后将无色硫酸铵液放入到蒸发结晶设备内，经负压低温蒸发浓缩结晶后，产出硫酸铵结晶；

(5)最后将富铜液放入蒸发器内，经负压蒸发浓缩、育晶后产出颗粒五水*硫酸铜结晶；

其中，采用碳酸氢铵来调节微蚀刻废液的pH值，并且采用连续缓慢加料的方式将碳酸氢铵放入到微蚀刻废液内，待pH调节至2.5～3.5后稳定搅拌15min后，经泵通过棉芯过滤后转移至萃取设备待用。

2.根据权利要求1所述的一种微蚀刻废液阴阳离子全回收利用方法，其特征在于，所述萃取设备为6级连续萃取-洗涤-反萃-再生系统的混合澄清池。

3.根据权利要求2所述的一种微蚀刻废液阴阳离子全回收利用方法，其特征在于，萃取设备采用流程为2级逆流萃取+1级弱酸洗涤+2级逆流反萃+1级有机相再生，萃取所选有机相由260#磺化煤油基与Lix984或者M5640复配而成，洗水为25g/L用软化水配置的稀硫酸，反萃液为150g/L用软化水配置的稀硫酸，再生水为工业自来水，当反萃液循环反萃有机相时满足游离酸低于90g/L时即认可为富铜液。

4.根据权利要求1所述的一种微蚀刻废液阴阳离子全回收利用方法，其特征在于，蒸发结晶设备为带盐腿的FC强制循环蒸发器，FC强制循环蒸发器的蒸发期间通过控制设备内负压维持料液温度低于75℃，对从盐腿放出的过饱和溶液采用离心固液分离的方式获得硫酸铵结晶，饱和母液返回FC强制循环蒸发器继续浓缩，硫酸铵结晶即为硫酸铵产品。

5.根据权利要求1所述的一种微蚀刻废液阴阳离子全回收利用方法，其特征在于，蒸发器为带育晶室的Oslo蒸发器，通过监测育晶室内循环结晶液密度定期将晶浆混合液排出Oslo蒸发器，采用负压抽滤的方式实现硫酸铜结晶与母液的分离，分离所得母液不返回Oslo蒸发器继续浓缩，返回步骤(2)作为反萃液使用。