[发明专利]一种基于MES的晶圆测试方法及系统

说明书

本发明实施例提供一种基于MES的晶圆测试方法及系统，该方法包括：根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取对应的测试信息，并将批次信息及测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；测试机UI模块通过读取配置文件获取测试程序存储路径，调用测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用测试程序对待测晶圆进行测试。本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法及系统，克服了直接使用UI样本程序的不足和缺陷，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动操作，减轻操作员工作量，降低误操作的可能性。

技术领域

本发明实施例涉及集成电路测试技术领域，具体涉及一种基于MES的晶圆测试方法及系统。

背景技术

Teradyne与Advantest是目前全球最大的两家半导体自动测试设备供应商，为广泛的半导体电路提供测试解决方案。

Teradyne公司的J750自动测试机是一种高度集成化的数字信号测试机，是为了满足半导体生产厂商低成本数字信号测试需要而开发的，由于它的集成度非常高，所以在测试功能上与其他测试机相比有性价比高的优点，全球装机量已达5000台左右，成为装机量最大的一款全自动测试机。

IG-XL是Teradyne为J750系列测试机开发的，专门用于编写和调试测试程序的软件。该软件集成了测试机硬件接口指令，可以使测试机与电脑、测试机与探针台之间进行实时数据通讯。

J750UI(J750 Production User Interface)是使用J750测试机进行批量化生产的人机交互界面，J750UI模块主要实现如下功能：

1)方便快捷从后台调取测试程序；

2)建立测试机与探针台之间的通讯；

3)实时显示当前测试结果及测试状态；

4)存储测试数据。

Teradyne已提供简单的J750UI样本程序，能实现上述功能，但是很多测试信息需要手动输入，比如：

a)测试程序调取路径；

b)探针台设置相关信息(对应探针台型号、探针卡site排列)；

c)待测晶圆相关信息(批次号和片号)，需要每片更新输入；

d)测试数据存储路径及文件名称，需要每片更新输入。

大范围的人工录入操作增加了操作员的负担，加大了误操作的可能性。更有甚者，用测试错误的芯片进行封装并应用到产品上，对测试厂、芯片供应商和终端用户都有可能造成不可挽回的经济损失。其他型号的测试机同样存在J750测试机的上述问题。因此，需要改进自动化量产用测试机以实现更安全、有效的晶圆测试。

发明内容

为解决现有晶圆测试中依赖于人工操作、自动化程度低、可靠性低等问题，本发明实施例提供一种基于MES的晶圆测试方法及系统。

第一方面，本发明实施例提供一种基于MES的晶圆测试方法，该方法包括：根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径，调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。