[发明专利]在工件上进行派瑞林镀膜的方法及装置

权利要求书

1.一种在工件上进行派瑞林镀膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

将工件静置于具有一个腔体的箱体内，所述工件均匀设置在所述箱体内，相邻的工件之间的间隔为3mm-200mm；

向箱体内通入用于镀膜的含有派瑞林的气体，所述气体自箱体的进气口进入后从所述箱体的排气口排出；所述箱体在工件和进气口之间设置有匀气装置，所述匀气装置上设置有通气孔；

在向箱体内通气时，控制所述箱体内的温度以使所述温度自所述进气口至所述排气口的方向依次降低。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述箱体内的温度为-20℃-200℃。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，工件通过码放或吊装的方式设置在箱体内。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的方法，其特征在于，工件在镀膜时以固定的姿态设置在箱体内。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，工件与箱体内壁的间隔距离相同，所述间隔距离为3mm-200mm。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述派瑞林包括派瑞林C、派瑞林D、派瑞林N或派瑞林F。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述箱体内的温度通过设置在箱体外壁的加热组件进行控制，所述加热组件包括设置在箱体上的若干加热单元。

8.一种实现如权利要求1-7任意一项所述的方法的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置包括：

箱体，所述箱体包括用于放置工件的镀膜腔，所述箱体包括进气口和排气口；以及

加热组件，包括设置在所述箱体外壁的若干加热单元，若干所述加热单元沿着所述进气口至所述排气口的方向的加热温度逐渐降低。

9.根据权利要求8所述的镀膜装置，其特征在于，还包括设于箱体外的保温层，所述加热组件设于所述箱体与所述保温层之间。

10.根据权利要求8所述的镀膜装置，其特征在于，所述箱体为钢材或铝合金材料。