[发明专利]一种烘干系统

权利要求书

1.一种烘干系统，包括烘干槽体(3)，所述烘干槽体(3)呈上开口的结构，所述烘干槽体(3)内放置有带硅片的载具，其特征在于，所述烘干槽体(3)外设有上开口的加热系统，所述烘干槽体(3)的底部设有连同加热系统的通风孔，形成上开口的循环烘干结构，所述循环烘干结构的开口上设有活动盖板(2)。

2.根据权利要求1所述的一种烘干系统，其特征在于，所述烘干槽体(3)与加热系统之间的通风孔处设有位于加热系统内的风轮(5-2)，所述风轮(5-2)与加热槽体(1)底部外侧的马达(5)连接。

3.根据权利要求2所述的一种烘干系统，其特征在于，所述加热系统包括设置在上开口的烘干槽体(3)外的上开口的加热槽体(1)，所述加热槽体(1)与烘干槽体(3)之间设有分别位于烘干槽体(3)两侧的加热器(1-1)、温度传感器(1-2)。

4.根据权利要求3所述的一种烘干系统，其特征在于，所述循环烘干结构外设有一套带过滤的高压鼓风机(6)，所述高压鼓风机(6)进风口为循环烘干结构的加热区，所述高压鼓风机(6)的出风口与设置在烘干区底部吹风管(3-1)相连。

5.根据权利要求4所述的一种烘干系统，其特征在于，所述高压鼓风机(6)还设有一条外界环境的进风口(6-4)；外界环境支路上设有控制外界环境的进风口(6-4)打开直至关闭的手阀(6-3)，所述手阀(6-3)的上方连接外界环境的进风口(6-4)。

6.根据权利要求5所述的一种烘干系统，其特征在于，所述高压鼓风机(6)的输出出风口的管路上设有惰性气体注入口(4)，通过注入惰性气体，防止在高温下硅片被氧化。

7.根据权利要求6所述的一种烘干系统，其特征在于，所述载具两侧的烘干槽体(3)侧壁上开有小孔，使经过载具及硅片表面的热风流量更加均匀。

8.根据权利要求7所述的一种烘干系统，其特征在于，所述加热器(1-1)的下方设有排风口(8)，通过排风口(8)将烘干系统内的湿气排出。

9.根据权利要求8所述的一种烘干系统，其特征在于，所述循环烘干结构最底部设有排水口(7)，用于将滴落到循环烘干结构底部的载具及硅片上的液态水及时排出。

10.一种根据权利要求1-9任一项所述的烘干系统结构的实施方法，步骤如下：

第一步，将装有硅片的载具放入烘干槽体(1)中；

第二步，打开马达(5)，马达(5)运转，带与马达(5)连接的风轮(5-2)旋转，使烘干槽体(3)成为低压区，包裹在烘干槽体(3)外的加热系统成为高压区，使循环烘干结构内的空气形成对流，烘干槽体(3)内的空气向下运动，经过载具及载具内的硅片，并由烘干槽体(3)底部的通风孔进入加热系统内，经过加热器(1-1)的加热后再次进入烘干槽体(3)内，如此循环；

同时，温度传感器(1-2)实时采集加热器(1-1)上方的空气温度数据，并传送给PLC控制系统，如果超过PLC控制系统预设的温度，则加热器(1-1)停止工作；

第三步，当高压鼓风机(6)运行时，如果环境支路截断，则只抽取烘干槽体(1)内空气，通过粗过滤(6-1)和精过滤(6-2)，将洁净的热风通过烘干槽体(3)底部的吹风管(3-1)对载具底部进行高压热风吹风，既提高了烘干槽3内部洁净度，又能加快载具及产品底部的烘干速度；如果通过手阀(6-3)打开外界环境的进风口(6-4)，高压鼓风机(6)则从进风口(6-4)及循环烘干结构内部同时抽取空气，并注入烘干槽体(3)内，对载具底部进行吹风。