[发明专利]一种运动台随动压力补偿装置、光刻机系统及其驱动方法

权利要求书

1.一种运动台随动压力补偿装置，其特征在于，包括：

至少两条压力补偿通道，所述压力补偿通道位于所述运动台内部，至少两条所述压力补偿通道的第一通道口分别位于所述运动台的运动迎风面和运动背风面；

压力源，所述压力源与所述压力补偿通道的第二通道口导通，所述压力源为所述压力补偿通道提供正压或负压；

压力补偿控制模块，所述压力补偿控制模块分别与所述运动台的驱动模块和所述压力源电连接，用于实时接收所述驱动模块中运动台的驱动信息，并根据所述运动台的所述驱动信息实时控制所述压力源提供正压或负压，其中，所述运动台的所述驱动信息至少包括加速驱动信息、减速驱动信息和匀速驱动信息。

2.根据权利要求1所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息实时控制所述压力源提供正压或负压，包括：

当所述运动台的所述驱动信息为加速驱动信息或匀速驱动信息时，所述压力补偿控制模块用于根据所述加速驱动信息或匀速驱动信息，实时控制所述压力源向第一通道口位于所述运动台的运动迎风面的所述压力补偿通道提供负压，并向第一通道口位于所述运动台的运动背风面的所述压力补偿通道提供正压；

当所述运动台的所述驱动信息为减速驱动信息时，所述压力补偿控制模块用于根据所述减速驱动信息，实时控制所述压力源向第一通道口位于所述运动台的运动迎风面的所述压力补偿通道提供正压，并向第一通道口位于所述运动台的运动背风面的所述压力补偿通道提供负压。

3.根据权利要求2所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息实时控制所述压力源提供正压或负压，包括：

所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息，按照预设运动台驱动信息与压力补偿的关系，确定所述运动台的所述驱动信息对应的压力补偿；

所述压力补偿控制模块在所述运动台根据所述驱动信息运动前预设时间，根据所述压力补偿控制所述压力源提供预设压力的正压或负压。

4.根据权利要求3所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力源提供的正压的压力值范围为0～100Pa，所述压力源提供的负压的压力值范围为0～-100Pa。

5.根据权利要求1所述的压力补偿装置，其特征在于，所述运动台包括四个侧面，所述压力补偿装置包括四条所述压力补偿通道，四条所述压力补偿通道的第一通道口分别位于所述运动台的所述四个侧面；四条所述压力补偿通道的第二通道口均与所述压力源导通。

6.根据权利要求5所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力补偿通道的所述第一通道口包括多个第一子通道口，所述多个第一子通道口与所述第二通道口导通，所述多个第一子通道口沿横向呈一排均匀分布于所述运动台的一个侧面。

7.根据权利要求6所述的压力补偿装置，其特征在于，所述第一子通道口的形状为圆形、矩形、三角形或椭圆形中的一种或多种。

8.根据权利要求6所述的压力补偿装置，其特征在于，所述第一子通道口的形状为圆形，所述第一子通道口的直径为8～10mm。

9.根据权利要求5或6所述的压力补偿装置，其特征在于，还包括至少两条导气管；所述压力源通过至少两条导气管与至少两条所述压力补偿通道的所述第二通道口一一导通。

10.根据权利要求9所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力补偿通道的所述第二通道口包括多个第二子通道口，与所述第二通道口导通的所述导气管包括多个子导气管，所述多个子导气管与所述多个第二子通道口导通。

11.根据权利要求1所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力源包括供气源和抽气源，所述供气源和所述抽气源分别与所述压力补偿通道的所述第二通道口导通。