[发明专利]微机电系统装置的控制方法及测试方法

权利要求书

1.一种微机电系统装置的控制方法，所述微机电系统装置包括第一电极及第二电极，所述方法包含：

提供开启信号，其中所述开启信号具有上升区段及下降区段；

施加所述上升区段到所述微机电系统装置，使所述第一电极移动以与所述第二电极形成开启状态，其中所述开启状态定义为使所述第一电极及所述第二电极接收正电流或负电流；

施加所述下降区段到所述微机电系统装置，所述第一电极与所述第二电极维持在所述开启状态；

提供关闭信号；以及

施加所述关闭信号到所述微机电系统装置，使所述第一电极与所述第二电极由所述开启状态变为关闭状态，其中所述关闭状态定义为使所述第一电极及所述第二电极不接收电流。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其中所述开启信号中从所述上升区段调制到所述下降区段的电性延迟小于所述第一电极从所述开启状态改变到所述关闭状态的机械性延迟。

3.根据权利要求2所述的控制方法，其中所述开启信号包含多个上升区段及多个下降区段，所述上升区段及所述下降区段交替地产生。

4.根据权利要求1所述的控制方法，其中所述上升区段或所述下降区段的时间间隔小于所述关闭信号的时间间隔。

5.根据权利要求1所述的控制方法，其中所述第一电极为可动电极。

6.根据权利要求1所述的控制方法，其中所述开启状态使所述第一电极与所述第二电极彼此接近到第一位置以形成电性连接。

7.根据权利要求6所述的控制方法，其中在所述第一位置，所述第一电极附接到所述微机电系统装置包括的介电层。

8.根据权利要求1所述的控制方法，其中所述关闭状态使所述第一电极与所述第二电极彼此远离到第二位置以形成电性不连接。

9.一种微机电系统装置的控制方法，所述微机电系统装置包括第一电极及第二电极，所述方法包含：

在第一时间间隔，施加正电流，使所述第一电极移动以与所述第二电极形成开启状态；

在第二时间间隔，施加负电流，使所述第一电极与所述第二电极维持在所述开启状态，其中所述开启状态定义为使所述第一电极及所述第二电极接收所述正电流或所述负电流；以及

在第三时间间隔，施加关闭信号，使所述第一电极与所述第二电极由所述开启状态变为关闭状态，其中所述关闭状态定义为使所述第一电极及所述第二电极不接收电流。

10.根据权利要求9所述的控制方法，其中在所述开启状态中从所述正电流调制到所述负电流的电性延迟小于所述第一电极从所述开启状态改变到所述关闭状态的机械性延迟。

11.根据权利要求10所述的控制方法，其中所述正电流及所述负电流依序地产生。

12.根据权利要求9所述的控制方法，其中所述第一时间间隔或所述第二时间间隔小于所述第三时间间隔。

13.根据权利要求9所述的控制方法，其中所述第一电极为可动电极。

14.根据权利要求9所述的控制方法，其中所述开启状态为所述第一电极与所述第二电极彼此接近到第一位置以形成电性连接。

15.根据权利要求9所述的控制方法，其中所述关闭状态为所述第一电极与所述第二电极彼此远离到第二位置以形成电性不连接。