[发明专利]挠性机构

说明书

本发明公开了一种挠性机构，包含有：一基座；一第一座体，与该基座相隔开来，并于一第一轴向上相对该基座位移；多数第一挠性单元，桥设于该基座与该第一座体之间，各该第一挠性单元系具有该第一轴向上的弹性；一横梁，设置该基座上，并与该第一座体相隔开来；一第二座体，滑设于该横梁上，并于一第二轴向上相对该横梁位移；以及多数第二挠性单元，桥设于该第一座体与该第二座体之间，各该第二挠性单元具有该第二轴向上的弹性。

技术领域

本发明与运动平台有关，特别是关于一种挠性机构，其可应用于短行程精密定位平台以提高运动的精度以及响应的速度。

背景技术

随着半导体纳米尺寸技术的发展，具备高精度与高响应速度的设备，已成为半导体设备厂商持续技术研发的标的，而其中，被广泛作为检测设备构成单元的运动平台，虽可提供高速的运动速度，但因惯性作用，运动中的物品实难以在极短时间内停止在精确位置上，且一般来说，物品的运动速度越高，完全停止前的晃动的程度亦越大，相对所需的整定时间亦越长，不易快速定位于精确的位置上。

现有技术为消除运动物品因惯性所致的整定不易，遂揭露有以挠性机构对位移后所产生的运动误差提供补偿，期以降低整定的时间并提高精度，是现有技术固可对运动物品提供运动位置误差的补偿，惟为确保挠性机构的自身精度，现有的挠性机构乃是使其用以提供挠性的各个构成部位，均是一体成型者，使得现有的挠性机构在制造上的难度增加，且在遇有局部挠性构成的弹性疲乏，而需进行维修时，现有的挠性机构因是为一体成型者，故仅能将整个机构予以拆除更换，徒使资源未能有效利用。

再者，现有的运动平台得以动作，则是透过马达来提供运动平台位移所需的动力，使运动平台于其所设置的导引用的轨道上，进行往复位移。其中，为使运动平台能于沿X轴与Y轴方向移动，则透过两个不同轴向的马达相互堆叠来达成，但位于下方的马达需承载另一马达的重量，在动作时，即极易因负重过大而损坏，致影响马达的使用寿命。

此外，现有的马达为了能直接驱动运动平台，通常设置于被其推动的构件邻近的位置上，使得马达深藏于运动平台内部，而被其他构件所遮蔽，故马达运转所产生的热能，将会受到组碍而造成散热不佳的问题，进而影响马达运转的效率。

发明内容

因此，本发明的主要目的在于提供一种挠性机构，其是由可分离的若干个独立挠性单元所构成，而可便于制造、组装加工及维修。

本发明的另一目的在于提供一种挠性机构，其是由横梁承受驱动单元的重量，避免另一驱动单元因负重过大而损坏。

缘是，为达成上述目的，本发明所提供的挠性机构，

包含有：一基座；一第一座体，与该基座相隔开来，并于一第一轴向上相对该基座位移；多数第一挠性单元，桥设于该基座与该第一座体之间，各该第一挠性单元具有该第一轴向上的弹性；一横梁，设置该基座上，并与该第一座体相隔开来；一第二座体，滑设于该横梁上，并于一第二轴向上相对该横梁位移；以及多数第二挠性单元，桥设于该第一座体与该第二座体之间，各该第二挠性单元系具有该第二轴向上的弹性。

而所称该第一、第二挠性单元分别在第一、第二轴向上提供弹性，乃指该第一、第二挠性单元分别因其结构设计而具有可挠性，且透过设置方位或角度上的改变，使其于不同的方向上具有弹性。

于具体的技术内容上，各该第一挠性单元分别具有一固定于该基座上的第一身部，一与该第一座体相接之第二身部与该第一身部相隔开来，一第一挠部与该第一身部及该第二身部连接。其中，该第一身部具有一开口端，该第一挠部及该第二身部位于该第一身部开口端中，且该第一挠部具有一第一结合件、一第一可挠件及二第二可挠件，该第一可挠件桥接于该第一结合件与该第二身部之外侧壁面间，而各该第二可挠件分别桥接于该第一身部开口端之内侧壁面与该第一结合件间。借此，用以使各该第一挠性单元具有该第一轴向上的弹力。