[发明专利]一种基于超材料结构的新型微纳折射率传感器在审
| 申请号： | 201910035608.0 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109580545A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 伍铁生;张慧仙;王学玉;王宜颖;曹卫平 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/552 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 石燕妮 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 折射率传感器 传感单元 介质底板 金属纳米 基板 超材料结构 介质板 金属板 等间距分布 两层金属板 折射率测量 长度一致 传统光学 纳米尺度 平行金属 集成化 传感器 长边 可用 相切 检测 | ||
1.一种基于超材料结构的新型微纳折射率传感器，其特征在于：所述基于超材料结构的新型微纳折射率传感器包括基板，基板上等间距阵列设置的传感单元；
所述基板包括从下往上依次重叠设置的第一金属板(1)、第一介质板(2)、第二金属板(3)；
所述传感单元包括介质底板(4)，介质底板(4)上设置有两个金属纳米圆柱(5)，其与相邻传感单元相邻的边定义为长边，圆柱轴线与长边平行，且置于介质底板(4)的边缘，所述金属纳米圆柱(5)的长度与传感单元长边的长度一致；
所述介质底板(4)与第一介质板(2)的材质相同，第一金属板(1)、第二金属板(3)及金属纳米圆柱(5)的材质相同。
2.根据权利要求1所述的基于超材料结构的新型微纳折射率传感器，其特征在于：所述介质底板(4)与第一介质板(2)的材质为MgF2，第一金属板(1)、第二金属板(3)及金属纳米圆柱(5)的材质为Au。
3.根据权利要求2所述的基于超材料结构的新型微纳折射率传感器，其特征在于：所述第一金属板(1)的厚度为h4＝100nm，第一介质板(2)的厚度h3＝170nm，第二金属板(3)的厚度为h2＝25nm；介质底板(4)的厚度为h1＝10nm，金属纳米圆柱(5)的半径为r＝50nm，相邻介质底板(4)的间距为d＝20nm。
4.根据权利要求3所述的基于超材料结构的新型微纳折射率传感器，其特征在于：所述新型微纳折射率传感器的工作波长范围为1100nm～1500nm。
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