[发明专利]一种光学界面面型测量的方法在审
| 申请号： | 201910035626.9 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109655012A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 杨火木;李洪儒;邓国亮 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610065 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 目标体 界面反射 信号光 迈克尔逊干涉仪 接收系统 面型测量 参考光 多界面 干涉光 面型 测量 超短脉冲激光光源 超短激光脉冲 超短脉冲激光 超短脉冲 干涉条纹 光学界面 相干特性 参考臂 参考镜 测量臂 分光镜 双界面 干涉 计算机系统 光谱 滤波 反射 采集 | ||
【权利要求书】：
1.一种光学界面面型测量的方法，其特征在于采用超短脉冲激光，通过迈克尔逊干涉仪结构，实现对多界面目标体的界面面型进行测量，包括以下步骤：
S101选择超短脉冲激光；
S102激光脉冲通过滤光片，实现光谱滤波；
S103滤波后的激光脉冲进入迈克尔逊干涉仪；
S104通过调节迈克尔逊干涉仪中参考臂长度，获取参考光和待测界面返回的信号光的干涉条纹；
S105根据S104获取的干涉条纹，得出待测光学界面的面型。
2.根据权利要求1所述一种光学界面面型测量的方法，其特征在于所述光源为超短脉冲激光，且脉宽短于纳秒，可以由固体激光器、气体激光器、光纤激光器、半导体激光器等输出。
3.根据权利要求1所述一种光学界面面型测量的方法，其特征在于所述滤光片为窄带滤光片。
4.根据权利要求1所述一种光学界面面型测量的方法，其特征在于通过调节参考臂长度或测量臂长度，实现参考光只与目标体待测界面反射回来的信号光产生干涉，而不会与目标体的其它界面反射回来的信号光产生干涉。
5.根据权利要求1所述一种光学界面面型测量的方法，其特征在于所述干涉条纹包含了待测光学界面的面型。
6.根据权利要求1-5所述一种光学界面面型测量的方法，其特征在于所述待测界面面型是根据所采集干涉条纹得出，即对干涉条纹进行傅里叶变换得到频谱信息，然后再进行傅里叶逆变换等操作得出待测界面的面型。
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