[发明专利]一种真零级集成光波导型半波片有效
| 申请号： | 201910036064.X | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109633814B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;邓鑫宸;陈浩;蒋建光;杨建义;江晓清;余辉;李宇波 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/126 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真零级 集成 波导 型半波片 | ||
1.一种真零级集成光波导型半波片，包括输入光波导（1）和输出光波导（3），其特征在于：还包括一段双折射光波导（2）和两段锥形光波导（4），输入光波导（1）经双折射光波导（2）和输出光波导（3）连接，且在所述输入光波导（1）与所述双折射光波导（2）之间、所述双折射光波导（2）与所述输出光波导（3）之间均经锥形光波导（4）连接；所述的输入光波导（1）和输出光波导（3）中，准TE模的有效折射率等于准TM模的有效折射率；所述的双折射光波导（2）和两段锥形光波导（4）中，准TE模的有效折射率与准TM模的有效折射率均存在差异；
所述的双折射光波导（2）和两段锥形光波导（4）中，准TE模的有效折射率与准TM模的有效折射率的差异使得经过双折射光波导（2）和每根锥形光波导（4）的准TE模导波与准TM模导波之间从输入到输出累计产生180度相移；
所述的准TE模导波与准TM模导波有效折射率的差异通过光波导芯部几何尺寸的差异产生的双折射效应来实现。
2.根据权利要求1所述的一种真零级集成光波导型半波片，其特征在于：所述的半波片在二氧化硅基片上通过沉积技术制作；或者在玻璃基片上通过离子交换方式或者激光直写方式制作；或者在SOI基片上通过刻蚀方式制作；或者在Ⅲ-Ⅳ化合物半导体基片上通过外延生长和刻蚀方式制作。
3.根据权利要求2所述的一种真零级集成光波导型半波片，其特征在于：所述的Ⅲ-Ⅳ化合物半导体包括GaAs和InP。
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