[发明专利]激光辐照ZnO微米管制备微纳结构的方法及所得材料有效
| 申请号： | 201910036493.7 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109626413B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 蒋毅坚;黄梓含;闫胤洲;邢承;王强 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王文君;王文红 |
| 地址： | 100022 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 辐照 zno 微米 制备 结构 方法 所得 材料 | ||
1.一种激光辐照ZnO微米管制备微纳结构的方法，其特征在于，是用紫外纳秒激光为辐照光源，照射富受主型ZnO微米管，获得微纳结构；
通过调节激光辐照参数，在所述富受主型ZnO微米管表面可实现不同微纳结构的可控制备，包括：
(1)功率密度为30-40mJ/cm2，脉冲数为100，获得微米鼓包凸起结构；
(2)功率密度为40-60mJ/cm2，脉冲数为200-800，获得微米横向裂缝结构；
(3)功率密度为60-80mJ/cm2，脉冲数为500-800，获得纳米片状堆叠结构；
(4)功率密度为80-150mJ/cm2，脉冲数为100-200，获得方形凸起及U形凸起微米结构；
(5)功率密度为150-300mJ/cm2，脉冲数为100-200，获得纳米鼓包结构。
2.根据权利要求1所述激光辐照ZnO微米管制备微纳结构的方法，其特征在于，所述紫外纳秒激光为脉冲激光器产生，激光的能量密度为30-300mJ/cm2。
3.根据权利要求1所述激光辐照ZnO微米管制备微纳结构的方法，其特征在于，脉冲数为100-800个，重复频率为3Hz。
4.根据权利要求1所述激光辐照ZnO微米管制备微纳结构的方法，其特征在于，所述紫外纳秒激光的脉冲宽度为25ns。
5.根据权利要求1所述激光辐照ZnO微米管制备微纳结构的方法，其特征在于，所述富受主型ZnO微米管的长度为4.0-5.5mm、直径为90-180μm、壁厚为0.5-1.5μm。
6.根据权利要求1所述激光辐照ZnO微米管制备微纳结构的方法，其特征在于，包括操作：
将248nm KrF准分子激光器产生的激光作为辐照光源，通过He-Ne激光进行准直，调整光路使激光依次通过均束器、反射镜和聚焦透镜到达样品台上，
将富受主型ZnO微米管固定在样品台上的激光光斑内，对ZnO微米管进行激光辐照。
7.权利要求1～6任一项所述的方法得到的具有微纳结构的材料。
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