[发明专利]一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构

权利要求书

1.一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构，其特征在于：由硫化锌基片和减反射膜膜系组成；所述减反射膜膜系由四种薄膜材料制备的膜层叠加构成；膜层层数共计19层，从硫化锌基片开始，由内向外第1层为氧化铪，第2层到第18层中的奇数层为氟化镱膜层、偶数层为硫化锌膜层，第19层为氮化硅膜层；各膜层厚度为：

膜层数	膜层材料	膜层厚度(nm)
1	2]]>	199.2～200.5
2	ZnS	193.9～194.9
3	3]]>	65.1～66.1
4	ZnS	48.7～49.4
5	3]]>	119.1～120.1
6	ZnS	334.9～336.2
7	3]]>	89.1～89.7
8	ZnS	300～301
9	3]]>	156.7～157.9
10	ZnS	112.1～112.7
11	3]]>	78.1～79
12	ZnS	44.9～45.4
13	3]]>	254.7～255.6
14	ZnS	1226.9～1227.7
15	3]]>	774.1～774.8
16	ZnS	10.1～10.7
17	3]]>	368.8～370.3
18	ZnS	53.7～54.3
19	3N4]]>	203.2～204.8

所述膜系结构用于雷达隐身高速武器平台中制作有雷达隐身金属网栅的多光谱硫化锌光学窗口，实现1.064μm激光和7.5μm～10.0μm长波红外在0°～76°超宽角度范围内的高透过。