[发明专利]一种VN/Ag宽温域润滑复合薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910038550.5 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN109628892A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 国洪建;贾均红;胡伟;周晶晶 | 申请（专利权）人： | 兰州城市学院 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/06 |
| 代理公司： | 西安中科汇知识产权代理有限公司 61254 | 代理人： | 韩冰 |
| 地址： | 730030 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 复合薄膜 宽温 润滑复合 薄膜 脉冲激光沉积系统 摩擦化学反应 化学计量比 机械零部件 高温润滑 均匀镶嵌 均匀致密 抗磨减摩 连续润滑 摩擦系数 拼装工艺 润滑作用 微观结构 制备工艺 钒酸银 润滑相 润滑性 氧化钒 靶材 减摩 中温 应用 | ||
1.一种VN/Ag宽温域润滑复合薄膜的制备方法，其特征在于，采用单束脉冲激光沉积技术以VN/Ag复合靶为靶材在待沉积基底上制备VN/Ag宽温域润滑复合薄膜，具体步骤如下：
(1)待沉积基底处理：
首先，去除待沉积镍基合金基底表面附着的杂质后，分别在丙酮和无水乙醇中超声清洗10～20min，氮气吹干，真空保存；
(2)VN/Ag复合靶：
分别取纯度为99.99％的VN靶、Ag靶，用金刚石石线切割机分别将VN靶、Ag靶进行等分切割，得到若干圆心角相同的VN靶扇形段、Ag靶扇形段，然后将VN靶扇形段、Ag靶扇形段分别置于体积比为1:1的丙酮和无水乙醇的混合溶液中超声清洗10min，然后用氮气吹干；然后取VN靶扇形段、Ag靶扇形段交替放置在与VN靶、Ag靶尺寸相同的靶托上拼装成VN/Ag复合靶；
(3)VN/Ag宽温域润滑复合薄膜的制备：
所用设备为脉冲激光沉积系统，该系统主要包括激光器和薄膜真空沉积室，将拼装好的VN/Ag复合靶置于真空室内的靶台上，并在样品台上放置处理好的待沉积镍基合金基底，设定VN/Ag复合靶与待沉积镍基合金基底表面间距d＝55mm；当真空室本底真空P＝1～6×10-4Pa时，利用氩气等离子体焰清洗VN/Ag复合靶和待沉积镍基合金基底30～40min；清洗结束后打开温度控制电源，设定待沉积镍基合金基底温度为200～250℃；当真空度P＝2～6×10-5Pa时，通入高纯N2，设定N2流量为90ml/min，当真空室压强P＝0.45Pa时开启激光器，设定激光能量E＝350mJ，激光能量密度为5.7J/cm2，脉冲频率f＝10Hz，脉冲数为20000-40000个，通过激光烧蚀复合靶使VN、Ag成分溅射在待沉积镍基合金基底上，从而获得VN/Ag宽温域润滑复合薄膜。
2.根据权利要求1所述的VN/Ag宽温域润滑复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述VN/Ag宽温域润滑复合薄膜厚度为1～2μm。
3.根据权利要求1所述的VN/Ag宽温域润滑复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)沉积过程中，VN/Ag复合靶与待沉积镍基合金基底以15～25rpm的速度匀速旋转。
4.根据权利要求1所述的VN/Ag宽温域润滑复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中通入的高纯N2的纯度为99.999％。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州城市学院，未经兰州城市学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910038550.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
